| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| ·铁电材料 | 第12-15页 |
| ·铁电材料简介 | 第12-13页 |
| ·铁电体的晶体结构 | 第13-15页 |
| ·铁电材料的应用 | 第15页 |
| ·钛酸锶钡BST(Ba_xSr_((1-x))Ti0_3) | 第15-18页 |
| ·BST(Ba_xSr_((1-x))Ti0_3)的结构 | 第15-18页 |
| ·BST(Ba_xSr_((1-x))Ti0_3)的应用 | 第18-20页 |
| ·热释电探测领域的应用 | 第18-19页 |
| ·动态随机存储器（DRAM）领域的应用 | 第19页 |
| ·微波通信领域的应用 | 第19-20页 |
| ·研究背景和存在的问题 | 第20-24页 |
| ·本论文的内容、目的和意义 | 第24-26页 |
| 参考文献 | 第26-28页 |
| 第二章 MgO 缓冲层以及BST 薄膜的制备 | 第28-45页 |
| ·薄膜制备技术概论 | 第28-32页 |
| ·常用薄膜沉积技术介绍 | 第28-32页 |
| ·MgO 缓冲层的制备和优化 | 第32-38页 |
| ·MgO 薄膜制备与性能 | 第33-38页 |
| ·BST 薄膜的制备和优化 | 第38-43页 |
| ·MgO/ Ba_(0.5)Sr_(0.5)Ti0_3 薄膜的性能 | 第39-41页 |
| ·LNO/MgO/BST 复合薄膜的研究 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |
| 第三章 插指式电容器的制备及介电性能测试 | 第45-65页 |
| ·微机械系统(MEMS)加工技术简介 | 第45-47页 |
| ·插指式电容器制备工艺 | 第47-49页 |
| ·介电性能测试及其结果 | 第49-62页 |
| ·介电性能测试理论及原理 | 第49-56页 |
| ·MgO/BST 介电性能测试 | 第56-59页 |
| ·LNO/MgO/BST 复合薄膜的性能测试 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 第四章 共面波导结构的制备和性能 | 第65-74页 |
| ·共面波导简介 | 第65-68页 |
| ·共面波导结构 | 第65页 |
| ·共面波导理论 | 第65-68页 |
| ·共面波导结构的制备工艺步骤 | 第68-70页 |
| ·共面波导结构的性能测试 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-74页 |
| 第五章 总结与展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读硕士学位期间录用和发表的论文专利目录 | 第76页 |
