| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 光纤传感器 | 第9-10页 |
| 1.3 光波导传感器 | 第10-17页 |
| 1.3.1 光波导传感器的器件结构 | 第11-14页 |
| 1.3.2 光波导传感器的波导结构 | 第14-17页 |
| 1.4 基于表面等离子共振的传感器 | 第17页 |
| 1.5 传感器的重要性能参数 | 第17-18页 |
| 1.6 传感器之间的比较 | 第18页 |
| 1.7 论文主要内容以及创新点 | 第18-20页 |
| 2 微环谐振腔的基本原理 | 第20-31页 |
| 2.1 回音壁模式 | 第20-21页 |
| 2.2 微环谐振腔基本原理 | 第21-23页 |
| 2.3 微环谐振腔的透射谱 | 第23-24页 |
| 2.4 环形谐振腔性能的影响因素 | 第24-27页 |
| 2.5 环形谐振腔的传感原理 | 第27-29页 |
| 2.6 环形谐振腔传感器的优点 | 第29页 |
| 本章小结 | 第29-31页 |
| 3 基于偏振复用的大范围环形腔生物传感器 | 第31-56页 |
| 3.1 不同偏振态传感灵敏度分析 | 第31-32页 |
| 3.2 单环谐振腔传感器测量范围分析 | 第32-33页 |
| 3.3 基于偏振复用的大范围传感器理论分析 | 第33页 |
| 3.4 基于偏振复用的大范围传感器的结构设计 | 第33-37页 |
| 3.5 基于偏振复用的大范围传感器的工艺制作 | 第37-48页 |
| 3.6 基于偏振复用的大范围传感器的测试方法 | 第48-50页 |
| 3.7 测试结果分析 | 第50-52页 |
| 3.8 关于结果的讨论以及进一步优化 | 第52-55页 |
| 本章小结 | 第55-56页 |
| 4 基于氮氧化硅(SiON)的级联双环生物传感器 | 第56-73页 |
| 4.1 级联双环传感器的基本原理 | 第56-57页 |
| 4.2 基于SiON光波导的传感器 | 第57-59页 |
| 4.3 基于SiON级联双环传感器的参数设计 | 第59-63页 |
| 4.4 双环传感器的动态范围 | 第63页 |
| 4.5 基于SiON的级联双环传感器的工艺流程 | 第63-68页 |
| 4.6 基于SiON级联双环传感器的测试及结果讨论 | 第68-72页 |
| 本章小结 | 第72-73页 |
| 5 总结与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 附录 | 第80页 |