| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-40页 |
| 1.1 软磁材料 | 第12-15页 |
| 1.2 软磁复合材料 | 第15-16页 |
| 1.3 纳米软磁复合薄膜 | 第16-33页 |
| 1.3.1 纳米软磁复合薄膜的磁各向异性 | 第18-22页 |
| 1.3.2 纳米软磁复合薄膜的动态磁化 | 第22-25页 |
| 1.3.3 纳米软磁复合薄膜的尺寸效应 | 第25-26页 |
| 1.3.4 纳米软磁复合薄膜的电输运 | 第26-27页 |
| 1.3.5 纳米软磁复合薄膜的制备 | 第27-31页 |
| 1.3.6 真空与薄膜制备的关系 | 第31-33页 |
| 1.4 纳米软磁复合薄膜的研究现状 | 第33-37页 |
| 1.4.1 轻元素掺杂软磁薄膜 | 第33-34页 |
| 1.4.2 软磁颗粒薄膜 | 第34-35页 |
| 1.4.3 软磁多层膜 | 第35-37页 |
| 1.5 本文选题依据、意义和研究内容 | 第37-40页 |
| 1.5.1 选题依据和意义 | 第37页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第37-40页 |
| 第二章 实验方法 | 第40-52页 |
| 2.1 纳米软磁复合薄膜的制备 | 第40-42页 |
| 2.1.1 PLD系统设备介绍 | 第40-41页 |
| 2.1.2 实验流程 | 第41-42页 |
| 2.2 样品表征及测试原理 | 第42-52页 |
| 2.2.1 磁性测量系统(MPMS) | 第42-43页 |
| 2.2.2 振动样品磁强计(VSM) | 第43-44页 |
| 2.2.3 矢量网络分析仪(VNA) | 第44-45页 |
| 2.2.4 电子自旋共振谱仪(ESR) | 第45-48页 |
| 2.2.5 X射线光电子谱(XPS) | 第48页 |
| 2.2.6 掠入射X射线衍射(GIXRD) | 第48-49页 |
| 2.2.7 透射电子显微镜(TEM) | 第49-50页 |
| 2.2.8 扫描电子显微镜(SEM) | 第50页 |
| 2.2.9 综合物性测量系统(PPMS) | 第50-51页 |
| 2.2.10 四探针电阻率测试 | 第51-52页 |
| 第三章 FeAlO纳米软磁复合薄膜的制备及其结构性能 | 第52-68页 |
| 3.1 引言 | 第52-53页 |
| 3.2 实验结果与讨论 | 第53-66页 |
| 3.2.1 沉积气氛对FeAlO薄膜成分的影响 | 第53-55页 |
| 3.2.2 靶材Al含量对FeAlO薄膜结构和性能的影响 | 第55-60页 |
| 3.2.3 热处理对FeAlO薄膜结构和性能的影响 | 第60-66页 |
| 3.3 结论 | 第66-68页 |
| 第四章 FeCoAlO纳米软磁颗粒膜的结构和性能 | 第68-88页 |
| 4.1 引言 | 第68-69页 |
| 4.2 实验结果与讨论 | 第69-86页 |
| 4.2.1 微结构和成分分析 | 第69-72页 |
| 4.2.2 磁性能分析 | 第72-76页 |
| 4.2.3 温度对FeCoAlO薄膜结构和性能的影响 | 第76-86页 |
| 4.3 结论 | 第86-88页 |
| 第五章 FeCoAlON纳米软磁颗粒膜的结构和性能 | 第88-106页 |
| 5.1 引言 | 第88-89页 |
| 5.2 实验结果与讨论 | 第89-103页 |
| 5.2.1 显微结构分析 | 第89-90页 |
| 5.2.2 成分分析 | 第90-94页 |
| 5.2.3 磁性能分析 | 第94-99页 |
| 5.2.4 热处理对磁性能的影响 | 第99-103页 |
| 5.3 结论 | 第103-106页 |
| 第六章 总结与展望 | 第106-108页 |
| 6.1 总结 | 第106-107页 |
| 6.2 展望 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-122页 |
| 致谢 | 第122-124页 |
| 个人简历 | 第124-126页 |
| 攻读博士学位期间取得的学术成果 | 第126-127页 |
