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溶胶—凝胶法制备高阈值Ta2O5薄膜及其温度效应研究

致谢第4-5页
摘要第5-6页
abstract第6-7页
变量注释表第15-16页
1 绪论第16-28页
    1.1 研究背景及意义第16-17页
    1.2 光学薄膜的激光损伤研究进展第17-18页
    1.3 光学薄膜的激光损伤机理第18-20页
    1.4 Ta_2O_5薄膜的基本性质第20-22页
    1.5 Ta_2O_5薄膜的制备方法第22-24页
    1.6 溶胶-凝胶法制备Ta_2O_5薄膜第24-27页
    1.7 本论文的研究内容和意义第27-28页
2 实验方法及相关表征方法第28-33页
    2.1 实验方法第28-29页
    2.2 Ta_2O_5薄膜的表征方法第29-33页
3 溶胶-凝胶法制备高阈值Ta_2O_5薄膜的关键成分探讨第33-44页
    3.1 引言第33-34页
    3.2 实验第34-35页
    3.3 结果和讨论第35-43页
    3.4 结论第43-44页
4 双添加剂制备高激光损伤阈值Ta_2O_5薄膜第44-54页
    4.1 引言第44页
    4.2 实验第44-46页
    4.3 结果和讨论第46-53页
    4.4 结论第53-54页
5 溶胶-凝胶法制备的Ta_2O_5薄膜在不同初始温度下的光学性能及其抗激光损伤阈值研究第54-64页
    5.1 引言第54-55页
    5.2 实验第55页
    5.3 结果和讨论第55-63页
    5.4 结论第63-64页
6 结论第64-65页
参考文献第65-72页
作者简历第72-74页
学位论文数据集第74页

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