| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 多晶硅压力传感器研究现状 | 第10-14页 |
| 1.1.1 多晶硅压力传感器国内研究现状 | 第10-13页 |
| 1.1.2 多晶硅压力传感器国外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2 胎压传感器国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.1 胎压传感器国内研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.2 胎压传感器国外研究现状 | 第17页 |
| 1.3 胎压监测系统国内外研究现状 | 第17-21页 |
| 1.3.1 胎压监测系统国内研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3.2 胎压监测系统国外研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4 研究目的和研究意义 | 第21-22页 |
| 1.4.1 研究目的 | 第21页 |
| 1.4.2 研究意义 | 第21-22页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 纳米多晶硅薄膜胎压传感器基本结构与工作原理 | 第23-29页 |
| 2.1 纳米多晶硅薄膜胎压传感器基本结构 | 第23-24页 |
| 2.2 纳米多晶硅薄膜胎压传感器工作原理 | 第24-28页 |
| 2.2.1 压阻系数 | 第24-25页 |
| 2.2.2 应变因子 | 第25-27页 |
| 2.2.3 工作原理 | 第27-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 纳米多晶硅薄膜胎压传感器芯片设计、制作与特性 | 第29-44页 |
| 3.1 纳米多晶硅薄膜胎压传感器设计 | 第29-35页 |
| 3.1.1 硅杯结构设计 | 第29-30页 |
| 3.1.2 压敏电阻分布位置设计 | 第30-35页 |
| 3.2 纳米多晶硅薄膜胎压传感器制作 | 第35-37页 |
| 3.2.1 纳米多晶硅薄膜胎压传感器制作工艺 | 第35-36页 |
| 3.2.2 纳米多晶硅薄膜胎压传感器芯片封装 | 第36-37页 |
| 3.3 纳米多晶硅薄膜胎压传感器静态特性 | 第37-43页 |
| 3.3.1 线性度 | 第37-39页 |
| 3.3.2 重复性 | 第39-40页 |
| 3.3.3 迟滞 | 第40页 |
| 3.3.4 准确度 | 第40-41页 |
| 3.3.5 灵敏度 | 第41-42页 |
| 3.3.6 纳米多晶硅薄膜胎压传感器温度特性 | 第42-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 胎压监测系统设计与仿真 | 第44-56页 |
| 4.1 系统总体方案设计 | 第44-47页 |
| 4.1.1 系统总体工作流程 | 第44-45页 |
| 4.1.2 电路原理图 | 第45-47页 |
| 4.2 胎压监测系统各功能模块电路设计 | 第47-52页 |
| 4.2.1 放大电路设计 | 第47-48页 |
| 4.2.2 模数转换电路设计 | 第48-49页 |
| 4.2.3 温度测量电路设计 | 第49-50页 |
| 4.2.4 单片机外围电路设计 | 第50页 |
| 4.2.5 液晶显示电路设计 | 第50-51页 |
| 4.2.6 无线模块电路设计 | 第51-52页 |
| 4.2.7 电源电路设计 | 第52页 |
| 4.3 胎压监测系统电路仿真 | 第52-55页 |
| 4.3.1 放大电路仿真 | 第53页 |
| 4.3.2 胎压检测端电路仿真 | 第53-54页 |
| 4.3.3 无线模块接收端电路仿真 | 第54-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 胎压监测系统实验结果分析和讨论 | 第56-66页 |
| 5.1 胎压监测系统测试装置 | 第56页 |
| 5.2 胎压监测系统电路制作 | 第56-58页 |
| 5.3 胎压监测系统调试 | 第58-65页 |
| 5.3.1 胎压监测系统校准 | 第58-62页 |
| 5.3.2 胎压监测系统温度补偿 | 第62-65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 附录 | 第73-86页 |
| 致谢 | 第86页 |