| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1.绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 选题依据 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 微细超声波加工技术概述 | 第10-14页 |
| 1.2.1 微细超声波加工基本原理 | 第10-11页 |
| 1.2.2 微细超声波技术的发展及应用 | 第11-14页 |
| 1.3 脆性材料去除模式研究 | 第14-16页 |
| 1.4 超声波加工材料去除模式研究 | 第16页 |
| 1.5 论文主要内容 | 第16-18页 |
| 2.微细超声波加工设备及控制程序 | 第18-22页 |
| 2.1 微细超声波加工机床 | 第18-20页 |
| 2.2 机床控制系统程序 | 第20-22页 |
| 3.微细超声波加工材料去除模式模型 | 第22-33页 |
| 3.1 压痕断裂理论 | 第22-24页 |
| 3.2 微细超声波加工材料去除模式模型推导 | 第24-33页 |
| 4.理论模型验证 | 第33-62页 |
| 4.1 石英晶体材料参数及理论模型计算 | 第33-40页 |
| 4.1.1 石英晶体材料简介及相关参数计算 | 第33-34页 |
| 4.1.2 弹性模量及泊松比的计算 | 第34-36页 |
| 4.1.3 断裂韧性和硬度的计算 | 第36-37页 |
| 4.1.4 石英晶体材料去除模式理论计算及实验设计 | 第37-40页 |
| 4.2 石英晶体实验过程及结果分析 | 第40-55页 |
| 4.2.1 第一阶段实验：石英晶体可加工性探究 | 第40-45页 |
| 4.2.2 第二阶段实验：探究石英晶体的去除模式 | 第45-51页 |
| 4.2.3 第一阶段实验与第二阶段第一组实验对比分析 | 第51-53页 |
| 4.2.4 第二阶段二组实验对比结果 | 第53-55页 |
| 4.3 石英晶体理论模型验证及结果分析 | 第55-58页 |
| 4.4 单晶硅<100>面理论模型验证 | 第58-60页 |
| 4.5 理论模型合理性分析 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |