基于气浮支承式触针测量系统的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题研究的目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第10-13页 |
| 1.3 本文的安排 | 第13-15页 |
| 2 气浮支承式触针测量方法和理论 | 第15-29页 |
| 2.1 触针式表面形貌测量技术 | 第15-16页 |
| 2.2 气浮支承式触针测量方法 | 第16-17页 |
| 2.3 气浮支承式触针系统的动态理论分析 | 第17-25页 |
| 2.4 气浮支承式触针系统的接触特性分析 | 第25-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 气浮支承式触针表面形貌测量系统 | 第29-38页 |
| 3.1 气浮支承式测量系统的整体结构 | 第29-31页 |
| 3.2 气浮测头 | 第31-32页 |
| 3.3 计量传感器 | 第32-35页 |
| 3.4 二维工作台 | 第35-37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 触针的气浮支承结构设计和性能分析 | 第38-51页 |
| 4.1 气浮支承的基本原理 | 第38-39页 |
| 4.2 节流器特性分析 | 第39-41页 |
| 4.3 气浮支承承载计算 | 第41-46页 |
| 4.4 计算结果分析 | 第46-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 触针测量力控制系统设计 | 第51-60页 |
| 5.1 触针测量力控制方法 | 第51-53页 |
| 5.2 电磁装置结构设计 | 第53-56页 |
| 5.3 电磁驱动电路设计 | 第56-57页 |
| 5.4 电磁悬浮系统性能测试 | 第57-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 系统测试实验及分析 | 第60-72页 |
| 6.1 测量系统实验装置 | 第60-61页 |
| 6.2 测量系统精度测试及误差分析 | 第61-64页 |
| 6.3 系统标定实验 | 第64-65页 |
| 6.4 系统测试实例 | 第65-71页 |
| 6.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 7 总结与展望 | 第72-74页 |
| 7.1 全文总结 | 第72页 |
| 7.2 对未来工作的展望 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 附录1 攻读学位期间取得的成果 | 第79-80页 |
| 附录2 工作台直线度数据 | 第80-82页 |
