基于MEMS光纤微位移传感器的加速度检测技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 传感器的概述 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS技术的国内外研究现状及研究意义 | 第11-12页 |
| 1.3 MEMS技术的传感器的应用领域 | 第12-16页 |
| 1.3.1 应用于医疗 | 第12-13页 |
| 1.3.2 应用于汽车电子 | 第13-15页 |
| 1.3.3 应用于智能手机 | 第15页 |
| 1.3.4 应用于航空航天 | 第15-16页 |
| 1.4 MEMS加工原理 | 第16-21页 |
| 1.4.1 湿法体微加工技术 | 第17-18页 |
| 1.4.2 干法体微加工技术 | 第18-19页 |
| 1.4.3 表面微加工技术 | 第19-20页 |
| 1.4.4 阳极键合技术 | 第20-21页 |
| 1.5 课题的研究意义 | 第21页 |
| 1.6 主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 微位移传感器的工作原理 | 第23-31页 |
| 2.1 位移传感器的原理及应用 | 第23页 |
| 2.2 常见的位移传感器 | 第23-26页 |
| 2.2.1 磁阻变化式位移传感器 | 第23-24页 |
| 2.2.2 电容式位移传感器 | 第24-25页 |
| 2.2.3 电感式位移传感器 | 第25页 |
| 2.2.4 光电式位移传感器 | 第25-26页 |
| 2.3 光纤强度调制原理 | 第26-30页 |
| 2.3.1 反射式光纤强度调制 | 第26-27页 |
| 2.3.2 透射式强度调制原理 | 第27-28页 |
| 2.3.3 折射率强度调制 | 第28-29页 |
| 2.3.4 光吸收系数强度调制 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 MEMS微位移传感器系统的设计 | 第31-54页 |
| 3.1 MEMS位移传感器的原理图 | 第31-32页 |
| 3.2 光路系统的设计 | 第32-36页 |
| 3.2.1 光源的选择 | 第32页 |
| 3.2.2 光电探测器 | 第32-35页 |
| 3.2.3 电流/电压转化电路 | 第35-36页 |
| 3.3 接收光纤光功率的计算 | 第36-39页 |
| 3.3.1 光纤出射光的光强分布 | 第36-37页 |
| 3.3.2 接收光纤光功率 | 第37-39页 |
| 3.4 微位移传感器位移与光功率仿真分析 | 第39-43页 |
| 3.4.1 Rsoft简介 | 第39-40页 |
| 3.4.2 仿真原理及仿真结果分析 | 第40-43页 |
| 3.5 微位移传感器在加速度检测中的应用 | 第43-53页 |
| 3.5.1 简支梁受力弯曲分析 | 第44-46页 |
| 3.5.2 简支梁受力分析仿真 | 第46-47页 |
| 3.5.3 ANSYS处理过程 | 第47页 |
| 3.5.4 简支梁ANSYS静力学分析 | 第47-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 MEMS传感器检测电路的设计 | 第54-66页 |
| 4.1 光电检测系统中主要的噪声分析 | 第54-55页 |
| 4.2 噪声的主要类型 | 第55页 |
| 4.3 前置放大电路 | 第55-58页 |
| 4.3.1 前置放大电路的设计 | 第56-58页 |
| 4.3.2 前置放大电路的模拟检测 | 第58页 |
| 4.4 滤波电路的设计 | 第58-65页 |
| 4.4.1 滤波器的工作原理 | 第59页 |
| 4.4.2 滤波器的频率特性 | 第59页 |
| 4.4.3 滤波器的类型及其工作原理 | 第59-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
