| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 精密驱动器的研究现状 | 第12-24页 |
| 1.2.1 精密驱动器的分类 | 第12-13页 |
| 1.2.2 压电驱动器的国内外发展现状 | 第13-24页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第24-27页 |
| 第2章 惯性式压电驱动技术基础理论 | 第27-39页 |
| 2.1 压电驱动原理 | 第27-33页 |
| 2.1.1 压电效应 | 第27-28页 |
| 2.1.2 压电材料 | 第28页 |
| 2.1.3 叠堆型压电陶瓷 | 第28-33页 |
| 2.2 柔性铰链 | 第33-37页 |
| 2.2.1 柔性铰链技术的发展 | 第33-34页 |
| 2.2.2 柔性铰链的分类 | 第34-35页 |
| 2.2.3 柔性铰链的选材 | 第35页 |
| 2.2.4 柔性铰链力学模型 | 第35-37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 粘滑式惯性压电驱动器仿真分析 | 第39-59页 |
| 3.1 粘滑式惯性压电驱动器机械结构设计 | 第39-40页 |
| 3.2 粘滑式惯性压电驱动器工作原理 | 第40-41页 |
| 3.3 叠堆型压电陶瓷动力学仿真分析 | 第41-46页 |
| 3.3.1 叠堆型压电陶瓷数学模型 | 第42-44页 |
| 3.3.2 叠堆型压电陶瓷 Simulink 仿真框图 | 第44页 |
| 3.3.3 叠堆型压电陶瓷 Simulink 仿真结果 | 第44-46页 |
| 3.4 柔性铰链机构仿真计算分析 | 第46-55页 |
| 3.4.1 正圆型柔性铰链理论计算 | 第47-48页 |
| 3.4.2 柔性铰链机构数学模型 | 第48-50页 |
| 3.4.3 柔性铰链机构 ABAQUS 仿真分析 | 第50-55页 |
| 3.5 粘滑式惯性压电驱动器整机动力学模型 | 第55-56页 |
| 3.6 本章小结 | 第56-59页 |
| 第4章 驱动器 PID 闭环控制系统设计 | 第59-71页 |
| 4.1 闭环控制系统原理 | 第59-60页 |
| 4.2 PID 自动控制模块设计 | 第60-61页 |
| 4.3 闭环控制系统硬件组成 | 第61-63页 |
| 4.4 闭环控制系统程序设计 | 第63-68页 |
| 4.4.1 LabVIEW 简介 | 第64页 |
| 4.4.2 驱动器控制系统软件设计 | 第64-68页 |
| 4.5 驱动器 PID 闭环控制系统实验 | 第68-69页 |
| 4.6 本章小结 | 第69-71页 |
| 第5章 驱动器性能测试与试验分析 | 第71-83页 |
| 5.1 驱动器试验样机 | 第71-72页 |
| 5.2 驱动器试验系统 | 第72页 |
| 5.3 驱动器输出特性试验分析 | 第72-82页 |
| 5.3.1 驱动信号电压对运动步长的影响 | 第73-74页 |
| 5.3.2 驱动信号频率对运动步长、运动速度的影响 | 第74-76页 |
| 5.3.3 负载对运动步长的影响 | 第76-79页 |
| 5.3.4 步进式运动稳定性 | 第79-81页 |
| 5.3.5 往复步进运动精度 | 第81-82页 |
| 5.4 本章小结 | 第82-83页 |
| 第6章 总结与展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-93页 |
| 作者成果简介 | 第93-95页 |
| 致谢 | 第95页 |
