| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-29页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-12页 |
| 1.2 选题意义 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外研究现状与发展趋势 | 第13-26页 |
| 1.3.1 国外MEMS陀螺仪研究现状与发展趋势 | 第14-21页 |
| 1.3.2 国外MEMS加速度计研究现状与发展趋势 | 第21-25页 |
| 1.3.3 国内发展现状与发展趋势 | 第25-26页 |
| 1.4 论文主要研究内容与编排 | 第26-28页 |
| 1.4.1 论文的主要研究内容 | 第26-27页 |
| 1.4.2 论文的章节编排 | 第27-28页 |
| 1.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 2 战术级工程化MEMS惯性器件结构机理与方案研究 | 第29-55页 |
| 2.1 问题的提出 | 第29-30页 |
| 2.2 MEMS陀螺仪结构方案 | 第30-42页 |
| 2.2.1 MEMS陀螺仪结构型式选择及工作原理 | 第30-33页 |
| 2.2.2 MEMS陀螺仪检测轴结构方案设计 | 第33-34页 |
| 2.2.3 MEMS陀螺仪大角速率下非线性特性研究 | 第34-40页 |
| 2.2.4 MEMS陀螺仪机械及热应力隔离结构设计 | 第40-42页 |
| 2.3 MEMS加速度计结构方案 | 第42-54页 |
| 2.3.1 MEMS加速度计结构型式选择及工作原理 | 第42-44页 |
| 2.3.2 MEMS加速度计力学模型 | 第44-47页 |
| 2.3.3 MEMS加速度计非线性误差研究 | 第47-49页 |
| 2.3.4 MEMS加速度计温度误差研究 | 第49-51页 |
| 2.3.5 全硅结构MEMS加速度计设计 | 第51-54页 |
| 2.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 3 战术级工程化MEMS惯性器件工艺关键技术研究 | 第55-85页 |
| 3.1 问题的提出 | 第55页 |
| 3.2 工艺流程设计 | 第55-64页 |
| 3.2.1 MEMS陀螺仪干法工艺流程设计 | 第56-61页 |
| 3.2.2 MEMS加速度计湿法工艺流程设计 | 第61-64页 |
| 3.3 关键工艺研究 | 第64-76页 |
| 3.3.1 腔体结构划切工艺研究 | 第64-66页 |
| 3.3.2 MEMS结构真空封装工艺研究 | 第66-70页 |
| 3.3.3 低应力封装工艺研究 | 第70-76页 |
| 3.4 工艺在线检测技术研究 | 第76-84页 |
| 3.4.1 谐振频率关键参数在线控制技术研究 | 第76-80页 |
| 3.4.2 双面光刻对准精度与在线测试技术研究 | 第80-81页 |
| 3.4.3 键合质量在线检测技术研究 | 第81-84页 |
| 3.5 本章小结 | 第84-85页 |
| 4 战术级工程化MEMS惯性器件系统及电路关键技术研究 | 第85-106页 |
| 4.1 问题的提出 | 第85页 |
| 4.2 MEMS惯性器件系统仿真技术研究 | 第85-91页 |
| 4.2.1 Simulink仿真 | 第86-90页 |
| 4.2.2 多端口组件（MAST）仿真 | 第90-91页 |
| 4.3 MEMS陀螺仪电路方案研究 | 第91-95页 |
| 4.3.1 MEMS陀螺仪驱动回路设计 | 第92-94页 |
| 4.3.2 MEMS陀螺仪检测电路设计 | 第94-95页 |
| 4.4 MEMS加速度计电路方案研究 | 第95-99页 |
| 4.4.1 MEMS加速度计闭环电路方案 | 第95-98页 |
| 4.4.2 非最小相位闭环系统设计 | 第98-99页 |
| 4.5 仪表温度补偿技术研究 | 第99-104页 |
| 4.5.1 硬件温度补偿电路设计 | 第99-102页 |
| 4.5.2 软件温度补偿技术 | 第102-104页 |
| 4.6 本章小结 | 第104-106页 |
| 5 战术级工程化MEMS惯性器件测试关键技术研究 | 第106-122页 |
| 5.1 问题的提出 | 第106-107页 |
| 5.2 MEMS器件测试 | 第107-110页 |
| 5.2.1 谐振结构谐振特性光学测试 | 第107-108页 |
| 5.2.2 谐振结构谐振特性电学测试 | 第108-109页 |
| 5.2.3 加速度计结构电容特性测试 | 第109-110页 |
| 5.3 仪表自动化测试技术研究 | 第110-112页 |
| 5.4 MEMS惯性器件整表性能试验 | 第112-121页 |
| 5.4.1 大量程MEMS陀螺仪性能测试 | 第112-115页 |
| 5.4.2 偏航MEMS角速度传感器性能测试 | 第115-118页 |
| 5.4.3 高性能MEMS陀螺仪性能测试 | 第118-119页 |
| 5.4.4 MEMS加速度计性能测试 | 第119-121页 |
| 5.5 本章小结 | 第121-122页 |
| 6 MEMS惯性器件应用关键技术研究 | 第122-143页 |
| 6.1 问题的提出 | 第122页 |
| 6.2 旋转导弹弹旋频率测量应用研究 | 第122-128页 |
| 6.3 旋转导弹偏航角速度测量应用研究 | 第128-134页 |
| 6.4 MEMS加速度计月球车应用研究 | 第134-138页 |
| 6.5 MEMS惯性仪表卫星测振应用研究 | 第138-142页 |
| 6.6 本章小结 | 第142-143页 |
| 7 结论及展望 | 第143-146页 |
| 7.1 结论 | 第143页 |
| 7.2 论文期间完成的主要工作及创新点 | 第143-145页 |
| 7.2.1 完成的主要工作 | 第143-144页 |
| 7.2.2 论文主要创新点 | 第144-145页 |
| 7.3 后续工作的进一步设想 | 第145-146页 |
| 参考文献 | 第146-152页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第152-154页 |
| 致谢 | 第154-156页 |
