| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外在微结构加工方向的研究现状及分析 | 第9-13页 |
| 1.2.1 车削加工微结构研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 微铣削加工微结构研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.3 辅助振动铣削加工微结构研究现状 | 第11页 |
| 1.2.4 基于探针轨迹运动的微结构加工研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 微加工系统装置的研制 | 第15-32页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 系统的组成和加工原理 | 第15-21页 |
| 2.2.1 系统加工原理 | 第15-16页 |
| 2.2.2 装置的构成 | 第16-17页 |
| 2.2.3 装置部件的选择 | 第17-20页 |
| 2.2.4 加工流程 | 第20-21页 |
| 2.3 控制系统的软硬件设计 | 第21-26页 |
| 2.3.1 控制系统的硬件设计 | 第21-23页 |
| 2.3.2 控制系统的软件设计 | 第23-26页 |
| 2.4 针尖运动轨迹验证试验 | 第26-31页 |
| 2.4.1 微动工作台空载轨迹实验验证 | 第27-29页 |
| 2.4.2 微动工作台加载轨迹实验验证 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 探针轨迹运动微加工理论分析及实验 | 第32-46页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 未变形切削厚度确定 | 第32-34页 |
| 3.3 材料完全去除条件 | 第34-35页 |
| 3.4 切削力理论计算 | 第35-38页 |
| 3.5 切削力信号的采集与分析 | 第38-39页 |
| 3.6 理论切削力及实际测得切削力对比 | 第39-40页 |
| 3.7 切削力及已加工表面粗糙度试验研究 | 第40-43页 |
| 3.8 圆锥针尖及三棱锥针尖加工结果对比分析 | 第43-45页 |
| 3.9 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 微沟槽加工工艺实验研究 | 第46-56页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 微动台开环闭环控制实验 | 第46-47页 |
| 4.3 单次加工与往复加工实验分析 | 第47-49页 |
| 4.4 往复加工中圆锥针尖及三棱锥针尖沟槽加工结果对比 | 第49页 |
| 4.5 微沟槽正交实验研究 | 第49-51页 |
| 4.6 带进给的微沟槽加工实验研究 | 第51-53页 |
| 4.7 微结构加工 | 第53-55页 |
| 4.8 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61页 |