| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题研究的背景、目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 曲面表征方法国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 多项式表示方法 | 第10-12页 |
| 1.2.2 参数表示方法 | 第12页 |
| 1.3 表面形状滤波方法国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 离散曲面表征方法研究 | 第15-29页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 曲面表征函数分析及新函数的构造 | 第15-19页 |
| 2.2.1 Zernike多项式 | 第15-17页 |
| 2.2.2 径向基函数 | 第17-18页 |
| 2.2.3 径向基Zernike多项式的构造 | 第18-19页 |
| 2.3 曲面表征函数面形拟合能力分析 | 第19-28页 |
| 2.3.1 表征函数对二次曲面类面形的拟合验证 | 第19-23页 |
| 2.3.2 具有局部突起和凹陷的面形拟合验证 | 第23-27页 |
| 2.3.3 表面有台阶的不连续面形拟合验证 | 第27-28页 |
| 2.3.4 曲面表征函数表征效果分析 | 第28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 针对台阶结构的滤波方法研究 | 第29-55页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 三维表面区域滤波器滤波方法研究 | 第29-32页 |
| 3.3 稳健高斯回归滤波器滤波方法研究 | 第32-36页 |
| 3.3.1 二维高斯回归滤波器原理及方法实现 | 第32-35页 |
| 3.3.2 稳健高斯回归滤波器的原理及实现 | 第35-36页 |
| 3.4 样条滤波器滤波方法研究 | 第36-39页 |
| 3.4.1 样条轮廓滤波器滤波原理及实现 | 第36-38页 |
| 3.4.2 样条滤波器与高斯滤波器滤波性能的比较 | 第38-39页 |
| 3.5 针对台阶结构的不同滤波器的滤波性能分析 | 第39-51页 |
| 3.5.1 对平面台阶结构的滤波效果分析 | 第39-46页 |
| 3.5.2 对曲面基底上台阶结构的滤波性能分析 | 第46-48页 |
| 3.5.3 对高深宽比凹槽结构的滤波特性分析 | 第48-50页 |
| 3.5.4 不同滤波器对台阶结构的滤波性能分析总结 | 第50-51页 |
| 3.6 逐步逼近的高斯回归滤波方案 | 第51-53页 |
| 3.7 本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 三维表面形貌处理软件设计与实现 | 第55-62页 |
| 4.1 引言 | 第55页 |
| 4.2 三维表面面形评定方法 | 第55-58页 |
| 4.2.1 三维表面面形评价高度参数 | 第55-56页 |
| 4.2.2 三维表面面形评价材料参数 | 第56-57页 |
| 4.2.3 表面粗糙度评价参数 | 第57-58页 |
| 4.3 三维测量表面形貌分析软件的设计与实现 | 第58-61页 |
| 4.3.1 三维面形形貌分析模块设计 | 第59页 |
| 4.3.2 二维轮廓分析模块设计 | 第59-60页 |
| 4.3.3 报表生成模块 | 第60-61页 |
| 4.3.4 系统界面设计 | 第61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 表征方法及滤波方法实验验证 | 第62-72页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 三维表面滤波方法验证 | 第62-65页 |
| 5.3 台阶结构的滤波方法验证 | 第65-68页 |
| 5.4 面形表征函数的拟合能力验证 | 第68-71页 |
| 5.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |