| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 半导体材料检测方法 | 第12-13页 |
| 1.3 光学检测技术研究进展 | 第13-18页 |
| 1.3.1 光电导技术 | 第14页 |
| 1.3.2 调制反射技术 | 第14-16页 |
| 1.3.3 自由载流子吸收技术 | 第16页 |
| 1.3.4 光热辐射技术 | 第16-18页 |
| 1.3.5 光致发光技术 | 第18页 |
| 1.4 光载流子辐射测量研究进展 | 第18-20页 |
| 1.5 本文工作以及组织结构 | 第20-22页 |
| 第二章 光载流子辐射测量理论基础 | 第22-34页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 载流子的光激励和复合 | 第22-26页 |
| 2.2.1 载流子的产生 | 第22-23页 |
| 2.2.2 载流子的复合过程 | 第23-26页 |
| 2.3 载流子的输运过程 | 第26-30页 |
| 2.3.1 载流子的漂移运动和扩散运动 | 第26-27页 |
| 2.3.2 载流子的输运方程 | 第27页 |
| 2.3.3 载流子输运方程求解 | 第27-30页 |
| 2.4 光载流子辐射信号 | 第30-33页 |
| 2.4.1 Planck辐射理论 | 第30-33页 |
| 2.4.2 光载流子辐射信号 | 第33页 |
| 2.4.3 PCR激励光强非线性系数 | 第33页 |
| 2.5 本章小节 | 第33-34页 |
| 第三章 光载流子辐射测量信号仿真 | 第34-48页 |
| 3.1 非线性特征 | 第34-38页 |
| 3.1.1 掺杂浓度 | 第35-36页 |
| 3.1.2 PCR强度响应非线性系数 | 第36-38页 |
| 3.2 载流子输运参数对信号特征的影响 | 第38-43页 |
| 3.2.1 载流子寿命 | 第38-40页 |
| 3.2.2 载流子扩散系数 | 第40-41页 |
| 3.2.3 表面复合速率 | 第41-43页 |
| 3.3 载流子输运参数的获取 | 第43-47页 |
| 3.3.1 载流子输运参数的获取 | 第43-44页 |
| 3.3.2 非线性效应对参数测量的影响 | 第44-45页 |
| 3.3.3 线性模型和非线性模型适用 | 第45页 |
| 3.3.4 拟合的灵敏度分析 | 第45-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 光载流子辐射测量技术实验结果分析 | 第48-69页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 实验系统 | 第48-53页 |
| 4.2.1 实验装置 | 第48-49页 |
| 4.2.2 监测入射光信号的系统光路 | 第49-51页 |
| 4.2.3 系统中的频率响应 | 第51-52页 |
| 4.2.4 激励光光斑半径 | 第52-53页 |
| 4.3 测量半导体材料的载流子输运参数 | 第53-57页 |
| 4.3.1 PCR频率响应信号 | 第53-54页 |
| 4.3.2 强度响应信号非线性特征 | 第54-55页 |
| 4.3.3 多参数拟合载流子输运参数 | 第55-57页 |
| 4.4 实验验证非线性和线性模型的适用范围 | 第57-62页 |
| 4.4.1 PCR强度扫描 | 第57-59页 |
| 4.4.2 非线性和线性模型拟合PCR频率扫描信号 | 第59-62页 |
| 4.5 不同电阻率样品的输运参数 | 第62-66页 |
| 4.5.1 不同电阻率样品的PCR频率扫描信号 | 第62-63页 |
| 4.5.2 不同电阻率样品的强度扫描实验 | 第63-64页 |
| 4.5.3 不同电阻率样品的输运参数测量 | 第64-66页 |
| 4.6 测量电阻率 | 第66-68页 |
| 4.7 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 总结与展望 | 第69-70页 |
| 5.1 本文主要工作 | 第69页 |
| 5.2 展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-78页 |