非平衡等离子体激励甲烷离解和氧化的动力学特性研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-19页 |
| 1.2.1 等离子体助燃作用机制研究进展 | 第11-13页 |
| 1.2.2 等离子体激励甲烷反应机理研究进展 | 第13-16页 |
| 1.2.3 理论模型及分析方法研究进展 | 第16-18页 |
| 1.2.4 研究成果小结及今后研究方向展望 | 第18-19页 |
| 1.3 本文研究目标及研究内容 | 第19-21页 |
| 2 动力学模拟方法 | 第21-31页 |
| 2.1 粒子寿命和不同反应时间尺度 | 第21-22页 |
| 2.2 反应机理的研究 | 第22-24页 |
| 2.3 碰撞截面的选取 | 第24-25页 |
| 2.4 热力学数据库 | 第25-26页 |
| 2.5 动力学反应模型 | 第26-29页 |
| 2.5.1 NSD激励甲烷离解和氧化的动力学模型 | 第26-29页 |
| 2.5.2 RF激励甲烷离解和氧化的动力学模型 | 第29页 |
| 2.6 路径通量分析 | 第29-30页 |
| 2.7 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 NSD激励甲烷离解和氧化的动力学研究 | 第31-67页 |
| 3.1 连续脉冲放电动力学过程研究 | 第31-34页 |
| 3.1.1 求解电子能量分布函数 | 第31-32页 |
| 3.1.2 连续脉冲放电动力学过程 | 第32-34页 |
| 3.2 第一个脉冲动力学过程研究 | 第34-48页 |
| 3.2.1 温度和净热生成 | 第34-35页 |
| 3.2.2 粒子数密度变化 | 第35-40页 |
| 3.2.3 重要组分生成消耗贡献率 | 第40-44页 |
| 3.2.4 路径通量分析 | 第44-48页 |
| 3.3 稳定放电单脉冲动力学过程研究 | 第48-60页 |
| 3.3.1 温度和净热生成 | 第48页 |
| 3.3.2 粒子数密度变化 | 第48-52页 |
| 3.3.3 重要组分生成消耗贡献率 | 第52-57页 |
| 3.3.4 路径通量分析 | 第57-60页 |
| 3.4 影响NSD动力学过程的因素 | 第60-64页 |
| 3.4.1 约化电场的影响 | 第60-62页 |
| 3.4.2 气体压力的影响 | 第62-63页 |
| 3.4.3 气体温度的影响 | 第63-64页 |
| 3.5 本章小结 | 第64-67页 |
| 4 RF激励甲烷离解和氧化的动力学研究 | 第67-87页 |
| 4.1 射频放电动力学过程研究 | 第67-77页 |
| 4.1.1 求解电子能量损失分布 | 第67-68页 |
| 4.1.2 粒子摩尔分数变化 | 第68-70页 |
| 4.1.3 重要组分生成消耗贡献率 | 第70-74页 |
| 4.1.4 路径通量分析 | 第74-77页 |
| 4.2 实验及与模拟对比 | 第77-82页 |
| 4.2.1 射频放电实验平台 | 第77-79页 |
| 4.2.2 实验和模拟结果比较 | 第79-82页 |
| 4.3 NSD和RF激励甲烷反应动力学比较 | 第82-84页 |
| 4.3.1 两种放电方式及特点 | 第82-84页 |
| 4.3.2 两种放电方式下的作用路径比较 | 第84页 |
| 4.4 本章小结 | 第84-87页 |
| 5 全文总结和展望 | 第87-91页 |
| 5.1 全文总结 | 第87-88页 |
| 5.2 研究展望 | 第88-91页 |
| 参考文献 | 第91-97页 |
| 作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第97-101页 |
| 学位论文数据集 | 第101页 |
