| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第15-30页 |
| 1.1. Ⅱ-Ⅵ族半导体CdTe材料概述 | 第15-18页 |
| 1.1.1 晶体结构 | 第15-17页 |
| 1.1.2 能带结构 | 第17-18页 |
| 1.2. CdTe材料的应用领域 | 第18-22页 |
| 1.2.1 太阳能薄膜电池材料 | 第18-20页 |
| 1.2.2 碲镉汞(Hg_(1-x)Cd_xTe,MCT)红外探测器的衬底材料 | 第20-21页 |
| 1.2.3 辐射探测器材料 | 第21-22页 |
| 1.3. 本论文的选题与意义 | 第22-25页 |
| 1.4. 本论文的研究内容和结构 | 第25-26页 |
| 本章参考文献 | 第26-30页 |
| 第二章 CdTe薄膜的制备方法与表征技术 | 第30-46页 |
| 2.1. CdTe薄膜的外延制备方法 | 第30页 |
| 2.2. 分子束外延(MBE) | 第30-37页 |
| 2.2.1 分子束外延生长系统的结构与原理 | 第31-35页 |
| 2.2.2 分子束外延表面成核与生长理论 | 第35-37页 |
| 2.3. 材料结构的原位表征技术 | 第37-40页 |
| 2.3.1 反射式高能电子衍射(RHEED) | 第38-40页 |
| 2.4. 材料结构与物性的非原位表征技术 | 第40-43页 |
| 2.4.1 X射线衍射(X-Ray Diffraction,XRD) | 第40-41页 |
| 2.4.2 光致发光谱(Photoluminescence,PL) | 第41-42页 |
| 2.4.3 透射光谱(Transmittance Spectra) | 第42-43页 |
| 本章小结 | 第43页 |
| 本章参考文献 | 第43-46页 |
| 第三章 CdZnTe衬底上分子束外延生长CdTe单晶薄膜 | 第46-69页 |
| 3.1. 研究背景 | 第46-47页 |
| 3.2. 实验过程 | 第47-53页 |
| 3.2.1 钼盘温度校准 | 第47-48页 |
| 3.2.2 衬底表面化学处理 | 第48-50页 |
| 3.2.3 退火温度对CZT衬底表面微结构的影响 | 第50-51页 |
| 3.2.4 薄膜外延生长过程 | 第51-53页 |
| 3.3. 不同晶向CZT衬底上外延CdTe薄膜工艺摸索与优化 | 第53-58页 |
| 3.3.1 CZT(211)衬底外延生长CdTe薄膜 | 第53-55页 |
| 3.3.2 CZT(331)衬底外延生长CdTe薄膜 | 第55-58页 |
| 3.4. CdTe外延薄膜的光学性质 | 第58-65页 |
| 3.4.1 CdTe薄膜稳态光致发光谱分析 | 第58-63页 |
| 3.4.2 CdTe薄膜时间分辨光致发光谱分析 | 第63-65页 |
| 本章小结 | 第65-66页 |
| 本章参考文献 | 第66-69页 |
| 第四章 STO衬底上分子束外延生长CdTe单晶薄膜 | 第69-97页 |
| 4.1. 研究背景 | 第69-70页 |
| 4.2. 实验过程 | 第70-75页 |
| 4.2.1 STO衬底表面预处理 | 第70-72页 |
| 4.2.2 STO衬底原位退火 | 第72-73页 |
| 4.2.3 外延薄膜的工艺流程 | 第73-75页 |
| 4.3. 在STO(001)衬底上外延生长CdTe单晶薄膜 | 第75-87页 |
| 4.3.1 在STO(001)衬底上外延生长CdTe薄膜的生长窗口 | 第75-76页 |
| 4.3.2 在STO(001)衬底上外延生长CdTe薄膜的晶体结构 | 第76-78页 |
| 4.3.3 在STO(001)衬底上外延生长CdTe薄膜的表面微结构 | 第78-79页 |
| 4.3.4 在STO(001)衬底上外延生长CdTe薄膜的生长机理 | 第79-87页 |
| 4.4. 在STO(111)衬底上外延生长CdTe单晶薄膜 | 第87-92页 |
| 4.4.1 在STO(111)衬底上外延生长CdTe薄膜的生长模式 | 第87-88页 |
| 4.4.2 在STO(111)衬底上外延生长CdTe薄膜的晶体结构 | 第88-89页 |
| 4.4.3 在STO(111)衬底上外延生长CdTe薄膜的表面微结构 | 第89页 |
| 4.4.4 在STO(111)衬底上外延生长CdTe薄膜的对称性 | 第89-90页 |
| 4.4.5 CdTe薄膜与STO(111)衬底间应力弛豫特性 | 第90-92页 |
| 本章总结 | 第92-93页 |
| 本章参考文献 | 第93-97页 |
| 第五章 CdTe/STO异质结构的透射谱和光致发光谱 | 第97-105页 |
| 5.1. 透射谱 | 第97-100页 |
| 5.2. 光致发光谱 | 第100-103页 |
| 本章小结 | 第103页 |
| 本章参考文献 | 第103-105页 |
| 第六章 总结与展望 | 第105-107页 |
| 6.1. 总结 | 第105-106页 |
| 6.2. 展望 | 第106-107页 |
| 攻博期间发表的科研论文情况及奖励情况 | 第107-109页 |
| 已发表和待发表的学术论文情况 | 第107-108页 |
| 获奖情况 | 第108-109页 |
| 致谢 | 第109-111页 |
