| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 符号对照表 | 第11-13页 |
| 缩略语对照表 | 第13-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-19页 |
| ·本课题研究的意义和目的 | 第17-18页 |
| ·本文的内容及章节安排 | 第18-19页 |
| 第二章 MEMS麦克风 | 第19-25页 |
| ·麦克风的发展史 | 第19-21页 |
| ·MEMS麦克风的分类 | 第21-23页 |
| ·电容式MEMS麦克风的电学参数 | 第23-25页 |
| ·灵敏度 | 第23页 |
| ·频率响应 | 第23页 |
| ·信噪比（SNR） | 第23-24页 |
| ·动态范围 | 第24页 |
| ·等效输入噪声（EIN） | 第24页 |
| ·静态电容 | 第24页 |
| ·输出阻抗 | 第24-25页 |
| 第三章 MEMS麦克风的低噪前置放大器及偏置电路的系统结构 | 第25-39页 |
| ·系统整体架构 | 第25-26页 |
| ·低噪前置放大器（Preamplifier） | 第26-29页 |
| ·前置放大器的工作模式 | 第27-28页 |
| ·放大器的主要参数 | 第28-29页 |
| ·偏置电路 | 第29-37页 |
| ·带隙基准源（Bandgap） | 第29-33页 |
| ·上电复位电路（POR） | 第33页 |
| ·缓冲器（Buffer） | 第33页 |
| ·振荡器（OSC） | 第33-35页 |
| ·电荷泵（Charge pump） | 第35-37页 |
| ·静电保护电路 | 第37-39页 |
| 第四章 MEMS麦克风的低噪前置放大器及偏置电路的设计与仿真 | 第39-57页 |
| ·低噪前置放大器的设计与仿真 | 第39-41页 |
| ·偏置电路的设计与仿真 | 第41-56页 |
| ·带隙基准源的设计与仿真 | 第42-48页 |
| ·上电复位电路的设计与仿真 | 第48-49页 |
| ·缓冲器的设计与仿真 | 第49-51页 |
| ·振荡器的设计与仿真 | 第51-53页 |
| ·电荷泵的设计与仿真 | 第53-56页 |
| ·系统整体布局 | 第56-57页 |
| 第五章 MEMS麦克风的低噪前置放大器及偏置电路的版图设计 | 第57-63页 |
| ·版图设计的流程 | 第57-58页 |
| ·绘制版图 | 第57页 |
| ·设计规则检查（DRC） | 第57页 |
| ·电气规则检查（ERC） | 第57页 |
| ·版图逻辑图匹配验证（LVS） | 第57-58页 |
| ·寄生参数提取（LPE） | 第58页 |
| ·后仿真（Post layout simulation） | 第58页 |
| ·版图设计需要重点考虑的因素 | 第58-59页 |
| ·匹配 | 第58页 |
| ·噪声 | 第58-59页 |
| ·寄生效应 | 第59页 |
| ·MEMS麦克风低噪前置放大器及偏置电路的主要版图 | 第59-63页 |
| 第六章 CPM211芯片与MEMS麦克风芯片封装成品的测试结果 | 第63-65页 |
| 第七章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 作者简介 | 第73-74页 |
