| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-19页 |
| ·课题背景 | 第13页 |
| ·气体传感器 | 第13-15页 |
| ·气体传感器的概述 | 第13-14页 |
| ·气体传感器的分类 | 第14-15页 |
| ·微结构气体传感器 | 第15-18页 |
| ·微机械系统 | 第15-16页 |
| ·微结构气体传感器的研究意义 | 第16-17页 |
| ·微结构气体传感器设计的存在问题及研究内容 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第2 章ANSYS有限元分析软件在微热板设计中的应用 | 第19-35页 |
| ·ANSYS有限元分析原理 | 第19页 |
| ·应用ANSYS有限分析软件进行热分析 | 第19-34页 |
| ·ANSYS有限元分析法的步骤 | 第19-21页 |
| ·ANSYS有限元热分析中热的传导方式 | 第21-23页 |
| ·应用ANSYS有限元分析软件做热分析的命令及具体的操作 | 第23-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 微结构气体传感器微热板的参数设计 | 第35-50页 |
| ·微结构气体传感器微热板设计的概述 | 第35-36页 |
| ·检测电极的确定 | 第36-48页 |
| ·薄膜电阻的计算 | 第37页 |
| ·电极间材料电阻的计算 | 第37-47页 |
| ·加热电极尺寸的确定 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 应用ANSYS软件对微热板的电极设计热分析仿真 | 第50-64页 |
| ·微热板中各层参数材料的选择 | 第50-54页 |
| ·绝缘层材料的选择 | 第50-53页 |
| ·电极材料的选择 | 第53-54页 |
| ·微结构气体传感器微热板电极的设计 | 第54-62页 |
| ·两指型加热电极的电极设计图 | 第55-57页 |
| ·微热板以蛇形电极设计的电极图 | 第57-59页 |
| ·爪型电极的设计 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第5章 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 附录 | 第70-71页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 个人简历 | 第74页 |
