用于微型温差发电器的纳米线阵列研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-21页 |
| ·引言 | 第8-16页 |
| ·热电效应原理 | 第9-10页 |
| ·热电微观机理 | 第10-12页 |
| ·材料性能研究现状 | 第12-14页 |
| ·材料低维化的趋势 | 第14-16页 |
| ·热电发电器件研究现状 | 第16-19页 |
| ·微型薄膜温差发电器 | 第16-17页 |
| ·微型超晶格温差发电器 | 第17-18页 |
| ·微型纳米线温差发电器 | 第18-19页 |
| ·本课题研究的主要内容及意义 | 第19-21页 |
| 第2章 热电纳米线发电器的分析与设计 | 第21-31页 |
| ·前言 | 第21-22页 |
| ·纳米线阵列的制备及表征 | 第22-24页 |
| ·电化学沉积碲化铋纳米线的装置及原理 | 第22-23页 |
| ·电化学测试方法 | 第23页 |
| ·组成及物相分析 | 第23-24页 |
| ·碲铋化合物薄膜沉积 | 第24-27页 |
| ·碲化铋薄膜沉积 | 第24-26页 |
| ·掺杂 Se 元素的薄膜沉积 | 第26-27页 |
| ·发电器工艺流程 | 第27-31页 |
| 第3章 基于阳极多孔氧化铝的纳米线沉积研究 | 第31-41页 |
| ·阳极多孔氧化铝模板的研究 | 第31-33页 |
| ·基于 AAO 模板的纳米线沉积 | 第33-37页 |
| ·循环伏安曲线 | 第35页 |
| ·EDS 成分分析 | 第35-36页 |
| ·纳米线 SEM 形貌观察 | 第36页 |
| ·XRD 晶粒检测 | 第36-37页 |
| ·纳米线阵列的平齐生长研究 | 第37-40页 |
| ·纳米线的生长速度研究 | 第37-39页 |
| ·完整纳米线的生长 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 热电纳米线发电器设计及制作 | 第41-59页 |
| ·下表面电极制作 | 第41-44页 |
| ·p 型纳米线沉积 | 第44-52页 |
| ·光刻技术分析 | 第44-46页 |
| ·光刻效果表征 | 第46-47页 |
| ·AAO 下表面光刻的研究 | 第47-49页 |
| ·光刻胶掩膜的研究 | 第49-50页 |
| ·AAO 双面对准光刻 | 第50-52页 |
| ·微区纳米线阵列的沉积 | 第52页 |
| ·n 型纳米线沉积 | 第52-55页 |
| ·上表面电极图形化 | 第55-58页 |
| ·刻蚀法 | 第55-57页 |
| ·剥离法 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第68页 |
