SOI高温压力传感器设计及制备技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题的研究目的及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第9-12页 |
| 2 SOI 压阻式压力传感器的设计及仿真 | 第12-38页 |
| ·SOI 压阻式压力传感器及其工作原理 | 第12-18页 |
| ·压阻效应 | 第12页 |
| ·压阻系数与应力张量 | 第12-17页 |
| ·SOI 压力传感器 | 第17-18页 |
| ·弹性膜片设计 | 第18-22页 |
| ·压敏电阻设计及计算 | 第22-26页 |
| ·压敏电阻的理论计算 | 第22-25页 |
| ·掺杂浓度对压敏电阻的影响 | 第25-26页 |
| ·功率对压敏电阻的影响 | 第26页 |
| ·传感器总体设计及仿真 | 第26-36页 |
| ·传感器结构设计 | 第26-29页 |
| ·仿真 | 第29-33页 |
| ·仿真结果与理论计算结果的比较 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 3 传感器的高温设计 | 第38-46页 |
| ·弹性膜片 | 第38-42页 |
| ·金属引线 | 第42-43页 |
| ·压阻的高温设计 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 4 SOI 高温压力传感器关键工艺技术研究 | 第46-56页 |
| ·工艺流程设计 | 第46-48页 |
| ·关键工艺技术研究 | 第48-54页 |
| ·掺杂 | 第48-49页 |
| ·刻蚀技术 | 第49-51页 |
| ·欧姆接触 | 第51-52页 |
| ·阳极键合 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 5 高温压力传感器的封装与测试 | 第56-64页 |
| ·封装 | 第56-59页 |
| ·传感器测试 | 第59-63页 |
| ·传感器常温测试 | 第59-61页 |
| ·传感器高温测试 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士期间发表论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
