| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-17页 |
| ·无线信号传输研究现状 | 第10-14页 |
| ·无线无源高温压力传感器研究现状 | 第14-17页 |
| ·本论文主要研究的内容 | 第17-19页 |
| 第二章 LTCC 压力传感器原理及关键工艺技术 | 第19-44页 |
| ·LTCC 压力传感器常见结构 | 第19-21页 |
| ·LTCC 压力传感器原理 | 第21-26页 |
| ·LTCC 压力传感器工作原理 | 第21-22页 |
| ·LTCC 压力传感器无线信号传输原理 | 第22-26页 |
| ·LTCC 压力传感器关键工艺技术 | 第26-34页 |
| ·碳膜填冲 | 第27-29页 |
| ·层压 | 第29-31页 |
| ·共烧 | 第31-34页 |
| ·LTCC 压力传感器关键设计原则 | 第34-43页 |
| ·电感设计 | 第35页 |
| ·电容设计 | 第35-37页 |
| ·敏感膜承受的最大应力 | 第37-39页 |
| ·排气通道设计 | 第39-40页 |
| ·敏感膜厚度 | 第40-41页 |
| ·传感器谐振频率与天线中心频率 | 第41-42页 |
| ·传感器材料的选择 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 LTCC 压力传感器无线信号耦合距离特性的研究 | 第44-65页 |
| ·实验总体介绍 | 第44-45页 |
| ·耦合系数对耦合距离的影响 | 第45-55页 |
| ·线圈内径对耦合距离的影响 | 第45-47页 |
| ·线圈外径对耦合距离的影响 | 第47-50页 |
| ·线圈宽度对耦合距离的影响 | 第50-52页 |
| ·线圈匝数对耦合距离的影响 | 第52-54页 |
| ·线圈形状对耦合距离的影响 | 第54-55页 |
| ·传感器品质因数对耦合距离的影响 | 第55-61页 |
| ·电感对耦合距离的影响 | 第55-58页 |
| ·电容对耦合距离的影响 | 第58-60页 |
| ·电阻对耦合距离的影响 | 第60-61页 |
| ·增大耦合距离的方法 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第四章 LTCC 压力传感器高温特性的研究 | 第65-82页 |
| ·LTCC 压力传感器高温特性的测试 | 第65-76页 |
| ·LTCC 压力传感器高温特性验证系统的设计 | 第65-71页 |
| ·LTCC 压力传感器高温特性的测试及分析 | 第71-76页 |
| ·高温下耦合效果的分析 | 第76-79页 |
| ·线圈电阻对耦合效果的影响 | 第77-78页 |
| ·传感器材料对耦合效果的影响 | 第78-79页 |
| ·LTCC 压力传感器结构优化 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第五章 总结 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-90页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |