| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 柔性温度传感器相关原理及测试方法 | 第16-26页 |
| 2.1 温度传感器的分类 | 第16-17页 |
| 2.2 柔性温度传感器敏感薄膜制备工艺 | 第17-20页 |
| 2.2.1 丝网印刷 | 第17-18页 |
| 2.2.2 喷墨打印 | 第18-19页 |
| 2.2.3 传统MEMS工艺 | 第19-20页 |
| 2.3 柔性温度传感器测试平台搭建 | 第20-22页 |
| 2.4 柔性温度传感器主要性能参数及测试方法 | 第22-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 石墨烯柔性温度传感器的制备与研究 | 第26-41页 |
| 3.1 实验材料及仪器 | 第27-28页 |
| 3.2 石墨烯敏感薄膜的制备 | 第28-29页 |
| 3.2.1 丝网印刷模具的设计 | 第28页 |
| 3.2.2 石墨烯敏感薄膜的制备流程 | 第28-29页 |
| 3.3 石墨烯柔性温度敏感薄膜的表征与分析 | 第29-32页 |
| 3.3.1 敏感单元表面印刷质量 | 第29-30页 |
| 3.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第30页 |
| 3.3.3 拉曼光谱(RAMAN) | 第30-31页 |
| 3.3.4 原子力显微镜(AFM) | 第31-32页 |
| 3.3.5 X射线能谱仪(EDS) | 第32页 |
| 3.4 石墨烯柔性温度传感器性能测试 | 第32-39页 |
| 3.4.1 石墨烯温敏薄膜温度特性研究 | 第32-34页 |
| 3.4.2 不同丝网印刷目数及形状的温敏电阻测试对比 | 第34页 |
| 3.4.3 稳定性 | 第34-35页 |
| 3.4.4 重复性和迟滞 | 第35-37页 |
| 3.4.5 分辨率 | 第37页 |
| 3.4.6 响应时间 | 第37-38页 |
| 3.4.7 其他干扰测试 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 金属铂柔性温度传感器的制备 | 第41-59页 |
| 4.1 实验材料及仪器 | 第41-42页 |
| 4.2 金属铂敏感单元制备及表征 | 第42-45页 |
| 4.2.1 敏感单元图形、尺寸及光刻板设计 | 第42-43页 |
| 4.2.2 金属铂柔性温度敏感薄膜的制备流程 | 第43页 |
| 4.2.3 金属铂温度敏感薄膜的表征 | 第43-45页 |
| 4.3 金属铂柔性温度传感器性能测试 | 第45-52页 |
| 4.3.1 测温范围 | 第45-46页 |
| 4.3.2 线性度及电阻温度系数 | 第46-47页 |
| 4.3.3 稳定性 | 第47-48页 |
| 4.3.4 重复性和迟滞 | 第48-50页 |
| 4.3.5 分辨率 | 第50页 |
| 4.3.6 响应时间 | 第50-51页 |
| 4.3.7 弯折特性 | 第51-52页 |
| 4.4 金属铂柔性温度传感器的优化与测试 | 第52-58页 |
| 4.4.1 线性度和电阻温度系数 | 第54-55页 |
| 4.4.2 稳定性 | 第55-56页 |
| 4.4.3 重复性和迟滞 | 第56-57页 |
| 4.4.4 分辨率 | 第57页 |
| 4.4.5 响应时间 | 第57-58页 |
| 4.4.6 弯折特性 | 第58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 研究内容总结 | 第59-60页 |
| 5.2 对进一步研究的展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第66页 |