| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-18页 |
| ·SOI 技术概述 | 第11-13页 |
| ·SOI 功率器件与保护电路的研究现状 | 第13-16页 |
| ·SOI 功率器件研究现状 | 第13-15页 |
| ·保护电路研究现状 | 第15-16页 |
| ·本文的主要工作及创新点 | 第16-18页 |
| 第二章 槽型 SOI LDMOS 集成功率器件结构的研究 | 第18-30页 |
| ·结构与工作机理分析 | 第18-20页 |
| ·槽型 SOI LDMOS 结构特征 | 第18-19页 |
| ·槽型 SOI LDMOS 工作机理分析 | 第19-20页 |
| ·器件参数对耐压和比导通电阻的影响 | 第20-24页 |
| ·介质槽宽（WT） | 第20-22页 |
| ·介质槽深度（DT） | 第22页 |
| ·顶层硅厚度（TS） | 第22-23页 |
| ·埋层厚度（TI） | 第23-24页 |
| ·槽型 SOI LDMOS 与常规结构的比较 | 第24-28页 |
| ·耐压和比导通电阻 | 第24-27页 |
| ·动态特性 | 第27-28页 |
| ·槽型 SOI LDMOS 的测试电路 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 槽型 SOI LDMOS 的过温、过流保护电路设计 | 第30-53页 |
| ·过温保护电路设计 | 第30-44页 |
| ·过温保护电路的原理 | 第30-33页 |
| ·典型的过温保护电路 | 第33-36页 |
| ·过温保护结构和原理分析 | 第36-41页 |
| ·过温保护电路仿真 | 第41-44页 |
| ·过流保护电路设计 | 第44-52页 |
| ·过流保护电路的原理 | 第44-45页 |
| ·典型的过流保护电路 | 第45-47页 |
| ·过流保护电路的拓扑结构和工作原理分析 | 第47-48页 |
| ·过流保护电路仿真 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 工艺实现、版图设计和测试 | 第53-69页 |
| ·SOI 材料制备 | 第53-56页 |
| ·常用的 SOI 材料制备工艺 | 第53-55页 |
| ·SOI 材料制备 | 第55-56页 |
| ·槽型 SOI LDMOS 与 CMOS 电路兼容工艺设计 | 第56-60页 |
| ·CMOS 工艺介绍 | 第56页 |
| ·槽型 SOI LDMOS 工艺与 CMOS 工艺对比 | 第56-57页 |
| ·槽型 SOI LDMOS 与 CMOS 电路兼容工艺设计 | 第57-60页 |
| ·槽型 SOI MOSFET 器件及其驱动电路版图的设计 | 第60-62页 |
| ·流片及测试 | 第62-68页 |
| ·流片照片 | 第62页 |
| ·功率器件测试结果 | 第62-64页 |
| ·CMOS 器件测试结果 | 第64-66页 |
| ·存在问题分析和解决方案 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 结论 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第74-76页 |
