| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 微加速度传感器简介 | 第11-12页 |
| 1.2 MEMS和MOEMS加速度计研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 加速度计信号检测系统的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.4 研究内容及目标 | 第17-19页 |
| 1.4.1 研究目标 | 第17-18页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第18-19页 |
| 2 MOEMS加速度计系统介绍 | 第19-28页 |
| 2.1 MOEMS加速度计工作原理 | 第19-21页 |
| 2.2 MOEMS加速度计系统结构 | 第21-28页 |
| 2.2.1 加速度传感结构 | 第21页 |
| 2.2.2 加速度计信号处理模块 | 第21-24页 |
| 2.2.3 MOEMS加速度计未加调制下的实验结果和数据分析 | 第24-28页 |
| 3 基于相位调制-解调技术的MOEMS加速度计理论研究 | 第28-44页 |
| 3.1 调制-解调技术 | 第28-30页 |
| 3.2 基于相位调制-解调技术的MOEMS加速度计的基本原理 | 第30-31页 |
| 3.3 相位调制的光栅干涉技术 | 第31-34页 |
| 3.3.1 PZT相位调制理论分析 | 第31-32页 |
| 3.3.2 相位调制深度选取 | 第32-34页 |
| 3.4 基于锁定放大技术的相位解调理论分析 | 第34-39页 |
| 3.4.1 相关检测原理 | 第34-36页 |
| 3.4.2 锁定放大器 | 第36-39页 |
| 3.5 基于LabVIEW的相位调制—解调系统仿真分析 | 第39-44页 |
| 4 PZT相位调制系统测试和数据分析 | 第44-52页 |
| 4.1 压电陶瓷驱动器基本特性测定 | 第44-49页 |
| 4.1.1 压电陶瓷驱动器特性测定的目的和设备 | 第44-46页 |
| 4.1.2 压电陶瓷特性测试试验结果及数据分析 | 第46-49页 |
| 4.2 压电陶瓷相位调制系统性能测试 | 第49-52页 |
| 4.2.1 调制系统验证实验 | 第49-50页 |
| 4.2.2 调制系统稳定性测试实验 | 第50-52页 |
| 5 基于锁定放大技术的解调系统测试和实验结果分析 | 第52-67页 |
| 5.1 解调系统电路设计 | 第52-63页 |
| 5.1.1 电压跟随器 | 第52页 |
| 5.1.2 带通滤波模块 | 第52-55页 |
| 5.1.3 陷波器 | 第55-56页 |
| 5.1.4 移相器 | 第56-59页 |
| 5.1.5 相敏检波器 | 第59-61页 |
| 5.1.6 低通滤波器 | 第61-63页 |
| 5.2 相位调制—解调系统性能测试 | 第63-67页 |
| 5.2.1 解调电路性能测试 | 第63-64页 |
| 5.2.2 MOEMS加速度计相位调制—解调系统性能测试 | 第64-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 总结 | 第67页 |
| 6.2 展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 作者简介及硕士期间主要研究成果 | 第73页 |
