| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| ·引言 | 第8-10页 |
| ·微机械加速度计的分类 | 第10-15页 |
| ·电容式加速度计 | 第10-11页 |
| ·压阻式加速度计 | 第11-12页 |
| ·压电式加速度计 | 第12-13页 |
| ·隧道电流型加速度计 | 第13-14页 |
| ·谐振式加速度计 | 第14页 |
| ·热电偶式加速度计 | 第14-15页 |
| ·微机械加速度计的发展状况 | 第15-20页 |
| ·本文的研究目的和主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 微机械加速度计的基本原理 | 第22-35页 |
| ·加速度计的工作原理 | 第22-25页 |
| ·加速度的基本概念 | 第22页 |
| ·牛顿第二定律和达朗贝尔原理 | 第22-23页 |
| ·动力学方程 | 第23-25页 |
| ·加速度计的频率特性 | 第25-29页 |
| ·幅频特性 | 第25-27页 |
| ·相频特性 | 第27-29页 |
| ·微机械加速度计中的空气阻尼 | 第29-34页 |
| ·压膜阻尼 | 第29-32页 |
| ·滑膜阻尼 | 第32-34页 |
| ·阻尼对加速度计特性的影响 | 第34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第三章 电容式微机械加速度计的设计 | 第35-45页 |
| ·电容式微机械加速度计的结构 | 第35-37页 |
| ·U形梁的设计 | 第37-40页 |
| ·电容式微机械加速度计的动力学设计 | 第40-41页 |
| ·电容式微机械加速度计的电学结构设计 | 第41-42页 |
| ·电容式微机械加速度计的等效电学模型 | 第42-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第四章 电容式微机械加速度计的制作工艺 | 第45-71页 |
| ·电容式微机械加速度计制作工艺的确定 | 第45-50页 |
| ·体微机械加工技术 | 第45-47页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第47-48页 |
| ·LIGA技术 | 第48-49页 |
| ·器件制作工艺的确定 | 第49-50页 |
| ·电容式微机械加速度计制作工艺的重要工艺 | 第50-61页 |
| ·单晶硅的各向异性湿法腐蚀 | 第50-53页 |
| ·硅—玻璃阳极键合技术 | 第53-56页 |
| ·深反应离子刻蚀技术 | 第56-61页 |
| ·电容式微机械加速度计制作的工艺流程及注意事项 | 第61-64页 |
| ·电容式微机械加速度计制作工艺存在的问题及解决方法 | 第64-70页 |
| ·小结 | 第70-71页 |
| 第五章 电容式微机械加速度计的性能测试 | 第71-79页 |
| ·电容式微机械加速度计谐振频率和品质因数的测试 | 第71-75页 |
| ·电容式微机械加速度计的性能测试 | 第75-78页 |
| ·小结 | 第78-79页 |
| 第六章 结束语 | 第79-81页 |
| ·总结 | 第79-80页 |
| ·本课题今后研究方向 | 第80-81页 |
| 参考文献(References) | 第81-86页 |
| 附录 | 第86-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 攻读硕士期间所发表的论文 | 第90页 |