电容式微机械加速度计检测电路研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第1章 绪论 | 第6-25页 |
| ·微机械加速度计 | 第6-12页 |
| ·基本原理 | 第6-7页 |
| ·分类 | 第7-10页 |
| ·应用 | 第10-12页 |
| ·性能指标 | 第12页 |
| ·电容式微机械加速度计 | 第12-23页 |
| ·工作原理 | 第12-15页 |
| ·常见开环检测电路 | 第15-21页 |
| ·闭环检测原理 | 第21-23页 |
| ·本论文主要内容及意义 | 第23-25页 |
| 第2章 单路载波调制型检测电路的设计 | 第25-50页 |
| ·电路模块设计 | 第25-38页 |
| ·载波发生器的设计 | 第25-31页 |
| ·电荷放大器的设计 | 第31-33页 |
| ·解调模块的设计 | 第33-36页 |
| ·末级低通滤波器和放大器设计 | 第36-38页 |
| ·电路性能影响因素分析 | 第38-43页 |
| ·载波信号稳定性 | 第38-40页 |
| ·两路电荷放大器的一致性 | 第40-42页 |
| ·参考信号和调幅信号的相位同步 | 第42-43页 |
| ·开环系统性能 | 第43-49页 |
| ·加速度计结构 | 第43-44页 |
| ·开环性能分析 | 第44-47页 |
| ·静电力对开环检测的影响 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 闭环检测电路初步设计 | 第50-64页 |
| ·闭环反馈方案分析 | 第50-57页 |
| ·单偏置—双反馈方案 | 第50-53页 |
| ·双偏置—单反馈方案 | 第53-57页 |
| ·闭环反馈方案 | 第57-60页 |
| ·PI控制器 | 第57-58页 |
| ·超前滞后网络+PI控制器 | 第58-59页 |
| ·滞后网络+PI控制器 | 第59-60页 |
| ·电路初步设计 | 第60-63页 |
| ·反馈施加部分 | 第61-62页 |
| ·反馈电路 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 加速度计性能测试结果 | 第64-70页 |
| ·灵敏度 | 第64-65页 |
| ·测试方法 | 第64-65页 |
| ·测试结果 | 第65页 |
| ·分辨率 | 第65-66页 |
| ·测试方法 | 第65页 |
| ·测试结果 | 第65-66页 |
| ·非线性 | 第66-67页 |
| ·测试方法 | 第66页 |
| ·测试结果 | 第66-67页 |
| ·零漂 | 第67-68页 |
| ·动态测试结果 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第5章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
