| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·CZT晶体特性 | 第8-13页 |
| ·CZT晶体的结构特性 | 第8-10页 |
| ·CZT晶体的应用 | 第10-12页 |
| ·CZT晶体的生长 | 第12-13页 |
| ·CZT晶体研究现状 | 第13-15页 |
| ·CZT晶体生长研究现状 | 第13页 |
| ·CZT晶体加工研究现状 | 第13-14页 |
| ·CZT晶体缺陷研究现状 | 第14页 |
| ·脆性晶体材料超精密加工后表面/亚表面损伤检测方法研究现状 | 第14-15页 |
| ·课题的来源、研究目的及重要意义 | 第15-16页 |
| ·课题的来源及研究目的 | 第15页 |
| ·课题研究的重要意义 | 第15-16页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第16-18页 |
| 2 CZT单晶体的纳米力学特性 | 第18-25页 |
| ·试验准备 | 第18-20页 |
| ·试验结果及分析 | 第20-24页 |
| ·不同晶面的各向异性 | 第20-21页 |
| ·同一晶面不同晶向的各向异性 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 CZT晶片超精密加工表面/亚表面损伤检测方法试验研究 | 第25-43页 |
| ·表面损伤检测方法试验研究 | 第25-30页 |
| ·光学显微镜 | 第25-27页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第27-29页 |
| ·3D表面轮廓仪 | 第29-30页 |
| ·亚表面损伤检测方法试验研究 | 第30-42页 |
| ·截面显微法 | 第30-37页 |
| ·角度抛光法 | 第37-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 CZT晶体超精密加工表面损伤检测结果与分析 | 第43-49页 |
| ·光学显微镜检测结果与分析 | 第43-45页 |
| ·扫描电子显微镜检测结果与分析 | 第45-47页 |
| ·3D表面轮廓仪检测结果与分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 CZT晶体超精密加工亚表面损伤检测结果与分析 | 第49-70页 |
| ·加工CZT晶体的传统加工工艺引入的亚表面损伤 | 第49-59页 |
| ·内圆切割片的亚表面损伤检测与分析 | 第49-54页 |
| ·W10白刚玉研磨片亚表面损伤检测与分析 | 第54-56页 |
| ·W2.5白刚玉研磨CZT晶片亚表面损伤检测与分析 | 第56-57页 |
| ·W2.5白刚玉机械抛光CZT晶片亚表面损伤检测与分析 | 第57-59页 |
| ·CZT晶体磨削片亚表面损伤 | 第59-68页 |
| ·磨削设备及磨削加工参数 | 第59-61页 |
| ·#600砂轮磨削CZT晶片亚表面损伤检测 | 第61-67页 |
| ·#325砂轮磨削CZT晶片亚表面损伤 | 第67-68页 |
| ·#2000砂轮磨削CZT片亚表面损伤 | 第68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 结论和展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
