| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第9-12页 |
| ·国外深冷处理技术的研究现状 | 第10-11页 |
| ·国内深冷处理技术的研究现状 | 第11-12页 |
| ·深冷处理设备的概况及发展趋势 | 第12-15页 |
| ·深冷处理设备的主要形式 | 第12-14页 |
| ·深冷处理设备的技术现状及发展趋势 | 第14-15页 |
| ·本课题的主要工作和论文安排 | 第15-17页 |
| 第二章 液氮制冷式深冷处理设备测温方案 | 第17-23页 |
| ·大型深冷处理设备的机构与工作原理 | 第17-18页 |
| ·超大工作腔内的多点测温方法 | 第18-21页 |
| ·“多温区”的划分方法 | 第18-20页 |
| ·多点测温方法 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 第三章 多温区温度场均匀性控制策略 | 第23-33页 |
| ·控制策略概述 | 第23-24页 |
| ·系统控制目标 | 第24页 |
| ·冷量辅助调节端控制算法的选择 | 第24-25页 |
| ·PID 控制器的基本结构 | 第24-25页 |
| ·PID 控制器性能指标 | 第25页 |
| ·PID 参数的自整定 | 第25-30页 |
| ·PID 参数自整定方法的选择 | 第25-26页 |
| ·Z-N 法（临界振荡法） | 第26-27页 |
| ·继电反馈辨识 | 第27-28页 |
| ·本系统的模型辨识 | 第28-30页 |
| ·SMITH时滞预估补偿算法 | 第30-32页 |
| ·算法概述 | 第30-31页 |
| ·Smith-PID 控制器 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 大型液氮制冷式深冷处理设备节能控制策略 | 第33-41页 |
| ·前言 | 第33-34页 |
| ·SLX-3500R 大型深冷处理设备冷量模型的建立 | 第34-36页 |
| ·最佳过冷量控制算法 | 第36-38页 |
| ·“过冷量”概念的提出 | 第36页 |
| ·最佳单位过冷量的获取 | 第36-37页 |
| ·算法概述 | 第37-38页 |
| ·最优换热效率调节方法 | 第38-41页 |
| 第五章 大型深冷处理设备测控系统的实现 | 第41-55页 |
| ·系统的总体设计方案 | 第41页 |
| ·系统的硬件实现 | 第41-44页 |
| ·硬件结构 | 第41-42页 |
| ·PLC 的选型 | 第42-43页 |
| ·I/O 点分配 | 第43-44页 |
| ·上位机的软件实现 | 第44-47页 |
| ·上位机的功能设计 | 第44页 |
| ·监控界面 | 第44-45页 |
| ·继电反馈辨识模块 | 第45-46页 |
| ·PID 参数自整定模块 | 第46-47页 |
| ·Smith-PID 控制器模块 | 第47页 |
| ·下位机的软件实现 | 第47-53页 |
| ·主程序框架结构及控制流程 | 第47-48页 |
| ·冷量主输出端控制程序设计 | 第48-51页 |
| ·冷量辅助调节端控制程序设计 | 第51页 |
| ·定时中断采集模块设计 | 第51-52页 |
| ·通信模块设计 | 第52页 |
| ·报警模块设计 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第六章 离线仿真与实时控制 | 第55-69页 |
| ·离线仿真 | 第55-64页 |
| ·关于离线仿真 | 第55-56页 |
| ·系统模型的建立及分析 | 第56-58页 |
| ·离线仿真程序的设计 | 第58-59页 |
| ·仿真过程与结果分析 | 第59-64页 |
| ·实时控制 | 第64-67页 |
| ·温度场均匀性控制结果分析 | 第64-66页 |
| ·节能控制结果分析 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 第七章 结论与展望 | 第69-73页 |
| ·课题研究总结 | 第69-70页 |
| ·成果展望 | 第70-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第79-80页 |