MEMS仿生矢量水声传感器设计及其工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·研究的背景和意义 | 第10-14页 |
| ·矢量水声传感器研究现状 | 第14-17页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 仿生矢量水声传感器理论基础 | 第19-30页 |
| ·矢量水声传感器分类及应用 | 第19-21页 |
| ·矢量水声传感器各测量参量的关系 | 第21-22页 |
| ·矢量水听器工作原理 | 第22-25页 |
| ·仿生水声传感器仿生与声学原理 | 第25-29页 |
| ·水声传感器仿生原理 | 第25-27页 |
| ·水声传感器声学探测原理 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 仿生矢量水声传感器硅微验证结构设计与加工 | 第30-56页 |
| ·硅微仿生矢量水声传感器设计 | 第30-34页 |
| ·结构设计 | 第30-31页 |
| ·压敏元件设计 | 第31-34页 |
| ·硅微矢量水声传感器有限元仿真和声学仿真 | 第34-42页 |
| ·有限元仿真 | 第34-41页 |
| ·声学仿真 | 第41-42页 |
| ·硅微传感器结构加工 | 第42-55页 |
| ·工艺设计 | 第42-50页 |
| ·版图设计 | 第50-54页 |
| ·传感器基本参数测试 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 GaAs 基仿生矢量水声传感器设计与加工 | 第56-75页 |
| ·GaAs 基仿生矢量水声传感器设计 | 第56-61页 |
| ·结构设计 | 第56-57页 |
| ·压敏元件设计 | 第57-61页 |
| ·GaAs 基矢量水声传感器有限元仿真 | 第61-63页 |
| ·GaAs 基仿生矢量水声传感器结构加工 | 第63-74页 |
| ·工艺设计 | 第63-71页 |
| ·版图设计 | 第71-73页 |
| ·传感器基本参数测试 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 仿生矢量水声传感器封装与测试 | 第75-85页 |
| ·传感器封装 | 第75-77页 |
| ·透声橡胶帽制作 | 第75-76页 |
| ·封装外壳制作 | 第76-77页 |
| ·传感器封装 | 第77页 |
| ·性能测试 | 第77-83页 |
| ·消声水池测试 | 第77-81页 |
| ·驻波管测试 | 第81-83页 |
| ·结果分析 | 第83-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 结束语 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93页 |
