| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·MEMS与MEMS CAD | 第7-8页 |
| ·MEMS建模与仿真方法 | 第8-15页 |
| ·系统级建模与仿真 | 第9-10页 |
| ·物理级建模与仿真 | 第10-11页 |
| ·器件级建模(宏模型)及发展现状 | 第11-15页 |
| ·论文的研究意义 | 第15页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 模型降阶技术 | 第17-31页 |
| ·引言 | 第17-18页 |
| ·模型降阶的数学描述 | 第18-20页 |
| ·基于Krylov子空间投影法的模型降阶方法 | 第20-29页 |
| ·Lanczos算法 | 第22-24页 |
| ·Arnoldi算法 | 第24-27页 |
| ·Arnoldi算法与Lanczos算法比较 | 第27-29页 |
| ·小结 | 第29-31页 |
| 第三章 数值计算法与应用实例 | 第31-53页 |
| ·谐振器静电结构域黑箱式宏模型 | 第31-43页 |
| ·获取动力学方程 | 第32-33页 |
| ·方程变换 | 第33-34页 |
| ·谐振器的各步分析结果 | 第34-37页 |
| ·谐振器宏模型建立及求解 | 第37-43页 |
| ·Z轴加速度计异构宏模型 | 第43-51页 |
| ·单根梁的宏模型 | 第45页 |
| ·单根梁的宏模型与组件梁模型比校 | 第45-48页 |
| ·梁的旋转 | 第48-50页 |
| ·Z轴加速度计仿真结果比较 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 第四章 算法实现及软件集成 | 第53-61页 |
| ·软件框架与实现流程 | 第53-55页 |
| ·物理级分析结果文件准备 | 第54页 |
| ·文件转换 | 第54页 |
| ·文件读取以及初始处理 | 第54-55页 |
| ·系统状态方程降阶 | 第55页 |
| ·宏模型输出与使用 | 第55页 |
| ·有限元部分集成方法 | 第55-56页 |
| ·降阶算法实现与集成 | 第56-60页 |
| ·基于MATLAB Compiler的算法转化方法 | 第56-57页 |
| ·算法封装( *.DLL) | 第57-58页 |
| ·在VC++中使用MATLAB生成的动态链接库( *.DLL) | 第58-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 结束语 | 第61-63页 |
| 总结 | 第61-62页 |
| 展望 | 第62-63页 |
| 附录A 谐振器静电结构耦合分析 | 第63-65页 |
| 附录B 单根梁宏模型描述方程 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 研究生期间发表的论文与申请专利 | 第71页 |
| 参加科研项目情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |