C/SiC复合材料表面SiC涂层的改性研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
第一章 绪论 | 第8-23页 |
·C/SiC复合材料 | 第8-9页 |
·C/SiC的防氧化 | 第9-10页 |
·SiC-C/SiC的涂层缺陷与氧化失效模式 | 第10-11页 |
·物理气相沉积和离子注入表面改性 | 第11-19页 |
·物理气相沉积 | 第11-14页 |
·离子注入表面改性 | 第14-19页 |
·本课题选题依据和研究内容 | 第19-20页 |
·选题依据 | 第19-20页 |
·研究内容 | 第20页 |
参考文献 | 第20-23页 |
第二章 物理气相沉积对SiC涂层表面改性 | 第23-32页 |
·前言 | 第23页 |
·实验过程 | 第23-25页 |
·3D SiC-C/SiC试样制备 | 第23-24页 |
·真空蒸镀Al膜 | 第24页 |
·磁控溅射Si膜 | 第24页 |
·氧化实验 | 第24-25页 |
·扫描电子显微镜(SEM) | 第25页 |
·X射线能谱分析(EDS) | 第25页 |
·结果分析与讨论 | 第25-30页 |
·本章小结 | 第30-31页 |
参考文献 | 第31-32页 |
第三章 离子注入对SiC涂层表面改性 | 第32-50页 |
·前言 | 第32页 |
·实验过程 | 第32-36页 |
·试样制备 | 第32页 |
·离子注入实验 | 第32-35页 |
·退火实验 | 第35页 |
·氧化实验 | 第35页 |
·弯曲强度测试 | 第35-36页 |
·化学成分、相结构和组织结构分析 | 第36页 |
·注入表面形貌、组织和成分分析 | 第36-40页 |
·氧化结果分析及讨论 | 第40-48页 |
·注入B试样结果分析与讨论 | 第40-43页 |
·注入Al试样结果分析与讨论 | 第43-46页 |
·注入Si试样结果分析与讨论 | 第46-48页 |
·本章小结 | 第48-49页 |
参考文献 | 第49-50页 |
第四章 混合注入沉积对SiC涂层表面改性 | 第50-63页 |
·前言 | 第50页 |
·实验过程 | 第50-53页 |
·注入沉积实验 | 第50页 |
·氧化实验 | 第50-52页 |
·XRD | 第52页 |
·SEM | 第52-53页 |
·结果分析及讨论 | 第53-62页 |
·外涂层为Al试样结果分析与讨论 | 第54-57页 |
·外涂层为Si试样结果分析与讨论 | 第57-60页 |
·铝和硅共沉积试样结果分析与讨论 | 第60-62页 |
·本章小结 | 第62页 |
参考文献 | 第62-63页 |
结论 | 第63-64页 |
致谢 | 第64-65页 |