C/SiC复合材料表面SiC涂层的改性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| ·C/SiC复合材料 | 第8-9页 |
| ·C/SiC的防氧化 | 第9-10页 |
| ·SiC-C/SiC的涂层缺陷与氧化失效模式 | 第10-11页 |
| ·物理气相沉积和离子注入表面改性 | 第11-19页 |
| ·物理气相沉积 | 第11-14页 |
| ·离子注入表面改性 | 第14-19页 |
| ·本课题选题依据和研究内容 | 第19-20页 |
| ·选题依据 | 第19-20页 |
| ·研究内容 | 第20页 |
| 参考文献 | 第20-23页 |
| 第二章 物理气相沉积对SiC涂层表面改性 | 第23-32页 |
| ·前言 | 第23页 |
| ·实验过程 | 第23-25页 |
| ·3D SiC-C/SiC试样制备 | 第23-24页 |
| ·真空蒸镀Al膜 | 第24页 |
| ·磁控溅射Si膜 | 第24页 |
| ·氧化实验 | 第24-25页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第25页 |
| ·X射线能谱分析(EDS) | 第25页 |
| ·结果分析与讨论 | 第25-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 参考文献 | 第31-32页 |
| 第三章 离子注入对SiC涂层表面改性 | 第32-50页 |
| ·前言 | 第32页 |
| ·实验过程 | 第32-36页 |
| ·试样制备 | 第32页 |
| ·离子注入实验 | 第32-35页 |
| ·退火实验 | 第35页 |
| ·氧化实验 | 第35页 |
| ·弯曲强度测试 | 第35-36页 |
| ·化学成分、相结构和组织结构分析 | 第36页 |
| ·注入表面形貌、组织和成分分析 | 第36-40页 |
| ·氧化结果分析及讨论 | 第40-48页 |
| ·注入B试样结果分析与讨论 | 第40-43页 |
| ·注入Al试样结果分析与讨论 | 第43-46页 |
| ·注入Si试样结果分析与讨论 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-50页 |
| 第四章 混合注入沉积对SiC涂层表面改性 | 第50-63页 |
| ·前言 | 第50页 |
| ·实验过程 | 第50-53页 |
| ·注入沉积实验 | 第50页 |
| ·氧化实验 | 第50-52页 |
| ·XRD | 第52页 |
| ·SEM | 第52-53页 |
| ·结果分析及讨论 | 第53-62页 |
| ·外涂层为Al试样结果分析与讨论 | 第54-57页 |
| ·外涂层为Si试样结果分析与讨论 | 第57-60页 |
| ·铝和硅共沉积试样结果分析与讨论 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62页 |
| 参考文献 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |