GaN欧姆接触与MSM结构紫外探测器研究
目录 | 第1-8页 |
第一章 前言 | 第8-11页 |
第二章 GaN材料的制备与应用 | 第11-26页 |
·GaN基材料的基本性质 | 第11-12页 |
·GaN材料的制备方法 | 第12-17页 |
·GaN基材料在电子器件上的应用 | 第17-19页 |
·GaN基光电子器件的发展 | 第19-25页 |
·发光二极管(LED) | 第20-23页 |
·激光二极管(LD) | 第23-24页 |
·紫外探测器(UV Detector) | 第24-25页 |
参考文献 | 第25-26页 |
第三章 GaN材料欧姆接触研究 | 第26-44页 |
·欧姆接触的基本原理 | 第27-29页 |
·欧姆接触电阻率的测量 | 第29-32页 |
·p-GaN欧姆接触研究 | 第32-36页 |
·p-GaN欧姆接触的研究现状 | 第32-33页 |
·提高p型GaN欧姆接触特性的几个手段 | 第33-36页 |
·n-GaN欧姆接触研究 | 第36-42页 |
·表面处理实验 | 第37-40页 |
·热退火实验 | 第40-42页 |
参考文献 | 第42-44页 |
第四章 光导型GaN紫外探测器的研究 | 第44-58页 |
·GaN基紫外探测器研究现状 | 第44-52页 |
·光电导探测器 | 第44-46页 |
·光伏探测器 | 第46-48页 |
·MSM(金属-半导体-金属)结构探测器 | 第48-49页 |
·部分实验成果的介绍 | 第49-52页 |
·GaN紫外探测器的制作 | 第52-53页 |
·实验结果与讨论 | 第53-57页 |
·结论 | 第57页 |
参考文献 | 第57-58页 |
第五章 MSM光导型探测器结构的研究 | 第58-65页 |
·器件结构与物理模型 | 第58-59页 |
·Matlab仿真结果与分析 | 第59-64页 |
·电场强度与几何参数的关系 | 第61-62页 |
·电场均匀性与几何参数的关系 | 第62-64页 |
·讨论 | 第64页 |
参考文献 | 第64-65页 |
第六章 实验工作总结 | 第65-67页 |
致谢 | 第67页 |