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GaN欧姆接触与MSM结构紫外探测器研究

目录第1-8页
第一章 前言第8-11页
第二章 GaN材料的制备与应用第11-26页
   ·GaN基材料的基本性质第11-12页
   ·GaN材料的制备方法第12-17页
   ·GaN基材料在电子器件上的应用第17-19页
   ·GaN基光电子器件的发展第19-25页
     ·发光二极管(LED)第20-23页
     ·激光二极管(LD)第23-24页
     ·紫外探测器(UV Detector)第24-25页
 参考文献第25-26页
第三章 GaN材料欧姆接触研究第26-44页
   ·欧姆接触的基本原理第27-29页
   ·欧姆接触电阻率的测量第29-32页
   ·p-GaN欧姆接触研究第32-36页
     ·p-GaN欧姆接触的研究现状第32-33页
     ·提高p型GaN欧姆接触特性的几个手段第33-36页
   ·n-GaN欧姆接触研究第36-42页
     ·表面处理实验第37-40页
     ·热退火实验第40-42页
 参考文献第42-44页
第四章 光导型GaN紫外探测器的研究第44-58页
   ·GaN基紫外探测器研究现状第44-52页
     ·光电导探测器第44-46页
     ·光伏探测器第46-48页
     ·MSM(金属-半导体-金属)结构探测器第48-49页
     ·部分实验成果的介绍第49-52页
   ·GaN紫外探测器的制作第52-53页
   ·实验结果与讨论第53-57页
   ·结论第57页
 参考文献第57-58页
第五章 MSM光导型探测器结构的研究第58-65页
   ·器件结构与物理模型第58-59页
   ·Matlab仿真结果与分析第59-64页
     ·电场强度与几何参数的关系第61-62页
     ·电场均匀性与几何参数的关系第62-64页
   ·讨论第64页
 参考文献第64-65页
第六章 实验工作总结第65-67页
致谢第67页

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