作为太阳能电池前电极的氧化锌掺铝绒面结构
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·太阳能电池 | 第10-14页 |
| ·太阳能电池的重大意义 | 第10-11页 |
| ·太阳能电池的工作原理 | 第11页 |
| ·薄膜太阳能电池的发展现状 | 第11-12页 |
| ·薄膜太阳能电池的优势和面临的挑战 | 第12-14页 |
| ·AZO透明导电薄膜 | 第14-19页 |
| ·ZnO材料简介 | 第14-16页 |
| ·透明导电薄膜在薄膜太阳能电池中的应用 | 第16-18页 |
| ·ZnO多层结构透明导电薄膜 | 第18-19页 |
| ·绒面AZO薄膜 | 第19-21页 |
| ·绒面薄膜在电池中的作用 | 第19-20页 |
| ·绒面AZO薄膜的制备方法 | 第20-21页 |
| ·本文的立题思路 | 第21-24页 |
| 第二章 实验设备及原理、薄膜制备过程及性能表征 | 第24-32页 |
| ·实验设备及原理 | 第24-28页 |
| ·实验设备 | 第24-25页 |
| ·磁控溅射原理 | 第25-28页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第28-30页 |
| ·靶材的制备 | 第28-29页 |
| ·衬底及其清洗 | 第29页 |
| ·平面薄膜的制备过程 | 第29-30页 |
| ·制绒过程 | 第30页 |
| ·性能评价手段 | 第30-32页 |
| 第三章 平面AZO透明导电薄膜的性能研究 | 第32-48页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜性能的影响 | 第32-40页 |
| ·XRD分析 | 第32-34页 |
| ·SEM分析 | 第34-35页 |
| ·霍尔测试分析 | 第35-37页 |
| ·紫外-可见-红外分光光度计测试分析 | 第37-39页 |
| ·性能指数 | 第39-40页 |
| ·氧分压对AZO薄膜性能的影响 | 第40-45页 |
| ·XRD分析 | 第40-41页 |
| ·霍尔测试分析 | 第41-43页 |
| ·紫外-可见-红外分光光度计测试分析 | 第43-44页 |
| ·性能指数 | 第44-45页 |
| ·溅射功率对AZO薄膜性能的影响 | 第45-47页 |
| ·XRD分析 | 第45-46页 |
| ·霍尔测试分析 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 绒面AZO透明导电薄膜的性能研究 | 第48-60页 |
| ·各工艺参数对薄膜绒面结构的影响 | 第48-52页 |
| ·氧流量对腐蚀后薄膜表面形貌的影响 | 第48-49页 |
| ·衬底温度对腐蚀后薄膜表面形貌的影响 | 第49-50页 |
| ·工作气压对腐蚀后薄膜表面形貌的影响 | 第50-51页 |
| ·溅射功率对腐蚀后薄膜表面形貌的影响 | 第51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| ·盐酸制得的绒面结构的性能分析 | 第52-56页 |
| ·SEM测试分析 | 第52-53页 |
| ·AFM测试分析 | 第53页 |
| ·XRD测试分析 | 第53-54页 |
| ·霍尔测试分析 | 第54页 |
| ·分光光度计测试分析 | 第54-56页 |
| ·小结 | 第56页 |
| ·其他溶液制得的绒面结构的性能分析 | 第56-60页 |
| ·SEM测试分析 | 第56-57页 |
| ·AFM测试分析 | 第57-58页 |
| ·霍尔测试分析 | 第58页 |
| ·分光光度计测试分析 | 第58-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第五章 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 个人简历 | 第70-72页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果 | 第72页 |
