光纤MOEMS压力传感器可行性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·光纤传感器概述 | 第10-11页 |
| ·MEMS简介 | 第11-13页 |
| ·MEMS的特点 | 第12页 |
| ·MEMS的应用前景 | 第12-13页 |
| ·光纤传感技术与微机电系统结合的MOEMS | 第13-15页 |
| ·本课题的主要内容及研究意义 | 第15-17页 |
| 第2章 光纤MOEMS压力传感器的理论知识 | 第17-32页 |
| ·光的干涉原理 | 第17-19页 |
| ·光纤结构的传光原理 | 第19-22页 |
| ·光纤波导的结构 | 第19页 |
| ·光纤波导的传光机理 | 第19-21页 |
| ·光纤波导的衰减机理 | 第21-22页 |
| ·几种典型的光纤传感机理 | 第22-29页 |
| ·强度调制型光纤传感器 | 第22-24页 |
| ·相位调制干涉型光纤传感器 | 第24-27页 |
| ·波长调制型光纤传感器 | 第27-28页 |
| ·偏振调制型光纤传感器 | 第28-29页 |
| ·微光机电系统的制造工艺 | 第29-31页 |
| ·体硅加工工艺 | 第29-31页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第31页 |
| ·LIGA加工技术 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 光纤MOEMS压力传感器的结构设计 | 第32-41页 |
| ·光纤MOEMS压力传感器的整体结构 | 第32页 |
| ·光源的选取 | 第32-34页 |
| ·传输光纤的选取 | 第34页 |
| ·传感器敏感单元的设计 | 第34-37页 |
| ·传感器敏感单元的特性 | 第35-36页 |
| ·传感器核心部件——探头的设计 | 第36-37页 |
| ·传感器敏感单元的理论分析 | 第37-38页 |
| ·力敏硅膜的挠度分析 | 第37页 |
| ·力敏硅膜的固有频率分析 | 第37-38页 |
| ·传感器光电检测系统的设计 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 光纤MOEMS压力传感器的性能分析 | 第41-54页 |
| ·有限元分析方法简介 | 第41-42页 |
| ·传感器敏感单元的仿真分析 | 第42-48页 |
| ·传感器的灵敏度、分辨率和频率响应分析 | 第48-51页 |
| ·传感器的噪声分析 | 第51-52页 |
| ·机械噪声 | 第51-52页 |
| ·散粒噪声 | 第52页 |
| ·光源频率噪声 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 作者简介 | 第60页 |
