多级干式罗茨真空泵实际抽速计算的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题研究背景 | 第9-14页 |
| ·国外发展概况 | 第10-13页 |
| ·国内发展概况 | 第13-14页 |
| ·罗茨泵性能计算的发展 | 第14-17页 |
| ·间隙泄漏量计算的发展 | 第14-17页 |
| ·课题研究的内容及意义 | 第17-19页 |
| ·课题研究内容 | 第17-18页 |
| ·课题研究意义 | 第18-19页 |
| 第2章 罗茨泵工作原理及性能计算 | 第19-27页 |
| ·罗茨泵的工作原理及特点 | 第19-21页 |
| ·罗茨泵的工作原理 | 第19-20页 |
| ·罗茨泵的特点 | 第20-21页 |
| ·容积利用系数和抽气速率 | 第21-22页 |
| ·罗茨泵的抽气速率 | 第21页 |
| ·罗茨泵的容积利用系数 | 第21-22页 |
| ·极限真空和零流量压缩比 | 第22-24页 |
| ·罗茨泵的极限真空 | 第22-23页 |
| ·罗茨泵的零流量压缩比 | 第23-24页 |
| ·罗茨泵的泄漏 | 第24-27页 |
| 第3章 多级罗茨间隙通道的稀薄气体泄漏模型及计算 | 第27-39页 |
| ·粘滞流流态下泄漏量的计算模型 | 第27-29页 |
| ·分子流流态下泄漏量的计算模型 | 第29-35页 |
| ·克努森流导积分公式 | 第29-31页 |
| ·传输几率法 | 第31-32页 |
| ·分子流状态下固体表面的解吸作用 | 第32-35页 |
| ·转子高速转动过程中的充填损失泄漏模型 | 第35页 |
| ·过渡流流态下泄漏量的计算模型 | 第35-39页 |
| ·加权法 | 第36页 |
| ·分区域法 | 第36-39页 |
| 第4章 不同流态下各型线转子泄漏量计算模型 | 第39-57页 |
| ·各型线转子的基本参数 | 第39-42页 |
| ·圆弧型转子型线基本参数 | 第39-40页 |
| ·渐开线型转子型线基本参数 | 第40-41页 |
| ·摆线型转子基本参数 | 第41-42页 |
| ·粘滞流下各型线转子的泄漏量 | 第42-48页 |
| ·圆弧型转子在粘滞流下的泄漏量 | 第42-45页 |
| ·渐开线型转子在粘滞流下的泄漏量 | 第45-48页 |
| ·分子流下各型线转子的泄漏量 | 第48-51页 |
| ·圆弧型转子在分子流下的泄漏量 | 第48-50页 |
| ·渐开线型转子在分子流下的泄漏量 | 第50-51页 |
| ·过渡流下各型线转子的泄漏量 | 第51-54页 |
| ·圆弧型转子在过渡流下的泄漏量 | 第51-54页 |
| ·渐开线型转子在过渡流下的泄漏量 | 第54页 |
| ·摆线型转子在各流态下的泄漏量 | 第54-57页 |
| 第5章 转子不平衡量及泵腔热变形对间隙通道的影响 | 第57-69页 |
| ·转子动平衡的理论依据 | 第57页 |
| ·转子轴类型确定 | 第57-58页 |
| ·转子不平衡量计算模型 | 第58-61页 |
| ·由不平衡引起的支撑力 | 第61-62页 |
| ·许用不平衡量引起的振动变形模型 | 第62-64页 |
| ·由不平衡量引起的转子轴变形 | 第64-65页 |
| ·转子变形量分析 | 第65-66页 |
| ·多场拟合后转子的轴变形量的分析 | 第66-67页 |
| ·泵腔的热变形及应力分析 | 第67-69页 |
| 第6章 多级罗茨干泵实际抽速的研究 | 第69-79页 |
| ·多级罗茨干泵实际抽速的计算模型 | 第69页 |
| ·未修正罗茨泵各部分形变量时返流量的计算 | 第69-71页 |
| ·罗茨泵主要尺寸 | 第69-70页 |
| ·罗茨泵泄漏量计算软件的介绍 | 第70-71页 |
| ·罗茨泵的理论计算结果 | 第71-74页 |
| ·考虑罗茨泵各部分变形因素后的理论计算结果修正 | 第74-79页 |
| ·考虑由转子不平衡量引起的变形对泄漏量的影响 | 第74页 |
| ·考虑由各泵腔热变形对泄漏量的影响 | 第74-79页 |
| 第7章 结论 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
