| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1篇 酸性镀铜溶液中氯离子的测定 | 第10-34页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·研究背景与意义 | 第10-12页 |
| ·研究现状与存在问题 | 第12-13页 |
| ·印刷电路板研究 | 第12-13页 |
| ·Cl~-测定的研究状况 | 第13页 |
| ·研究内容及创新之处 | 第13-16页 |
| 第2章 酸性镀铜溶液中Cl~-的测定及PEG的电化学行为 | 第16-34页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·酸性镀铜溶液中Cl~-的测定试验原理及方法 | 第16-17页 |
| ·试验原理 | 第16页 |
| ·试验方法 | 第16-17页 |
| ·微孔电镀的原理及过程 | 第17-18页 |
| ·微孔电镀原理 | 第17页 |
| ·微孔电镀前处理及电镀过程 | 第17-18页 |
| ·试验试剂及设备 | 第18-19页 |
| ·酸性镀铜溶液中Cl~-测定方法研究 | 第19-27页 |
| ·不含有机添加剂时Cl~-的测定 | 第19-22页 |
| ·含有机添加剂时Cl~-的测定 | 第22-23页 |
| ·含有机添加剂时不同Cl~-浓度溶液的吸光度测定 | 第23-24页 |
| ·镀液中Cl~-浓度的测定 | 第24-27页 |
| ·电镀填充微孔试验内容 | 第27-30页 |
| ·酸性镀铜添加剂PEG的电化学行为 | 第30-31页 |
| ·试验方法及条件 | 第30页 |
| ·不同分子量PEG对阴极极化曲线的影响 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-34页 |
| 第2篇 超级化学镀铜溶液研究 | 第34-64页 |
| 第3章 超级化学镀铜的研究进展 | 第34-38页 |
| ·研究背景及意义 | 第34-35页 |
| ·应用于半导体铜互连线工艺的超级化学镀铜添加剂 | 第35-37页 |
| ·采用SPS为主要添加剂的超级化学镀铜研究 | 第35-36页 |
| ·DPS为主要添加剂的超级化学镀铜 | 第36页 |
| ·HIQSA与PEG相结合的超级化学镀铜 | 第36-37页 |
| ·单独使用PEG为添加剂的超级化学镀铜 | 第37页 |
| ·研究存在问题与展望 | 第37-38页 |
| 第4章 以甲醛为还原剂单独PEG为添加剂的超级化学镀铜 | 第38-54页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·试验步骤 | 第38-40页 |
| ·试样的制备 | 第38-39页 |
| ·化学镀铜的试验流程 | 第39页 |
| ·镀覆试验结果的评价 | 第39-40页 |
| ·试验试剂及设备 | 第40-41页 |
| ·试验试剂 | 第40页 |
| ·试验设备 | 第40-41页 |
| ·不同分子量的PEG对化学镀铜沉积速率的影响 | 第41-42页 |
| ·不同分子量的PEG对化学镀铜阴阳极极化曲线的影响 | 第42-44页 |
| ·试验原理 | 第42页 |
| ·试验方法 | 第42-43页 |
| ·试验结果 | 第43-44页 |
| ·分子量为6000的PEG对道沟的填充 | 第44-48页 |
| ·PEG-6000浓度为1mg/L时采用PdCl_2活化的超级化学填充 | 第44-45页 |
| ·PEG-6000浓度为1mg/L时无PdCl_2活化的超级化学填充 | 第45-47页 |
| ·PEG-6000浓度为100mg/L时超级化学填充 | 第47-48页 |
| ·PEG-8000为添加剂的超级化学填充 | 第48-49页 |
| ·PEG-8000浓度为1mg/L时超级化学填充 | 第48-49页 |
| ·PEG-8000浓度为100mg/L时超级化学填充 | 第49页 |
| ·PEG分子量的大小对道沟填充影响模拟 | 第49-51页 |
| ·不同分子量PEG填充相同规格道沟模拟图 | 第50-51页 |
| ·同种分子量PEG填充不同规格道沟模拟图 | 第51页 |
| ·PEG-6000对镀层的影响 | 第51-53页 |
| ·PEG-6000对镀层表面的影响 | 第51-52页 |
| ·PEG-6000对镀层结构的影响 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 一种新超级化学镀铜体系的初步探索 | 第54-62页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·新超级化学镀铜体系的初步探索 | 第54-56页 |
| ·添加剂的作用 | 第56-61页 |
| ·SPS的作用 | 第56-58页 |
| ·单独SPS对化学镀铜表面形貌的影响 | 第58-59页 |
| ·单独SPS对化学镀铜镀层结构的影响 | 第59-60页 |
| ·PEG-6000对含三乙醇胺体系沉积速率的影响 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第6章 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第72页 |
