| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| ·声光可调谐滤波器的发展历程 | 第9-10页 |
| ·声光可调谐滤波器的研究现状 | 第10-12页 |
| ·声光可调谐滤波器的理论及应用 | 第12-13页 |
| ·本论文内容的安排 | 第13-14页 |
| 第2章 声光可调谐滤波器的理论基础 | 第14-28页 |
| ·AOTF中的声光作用原理 | 第14-17页 |
| ·正常布拉格衍射 | 第15-16页 |
| ·反常布拉格衍射 | 第16-17页 |
| ·耦合模理论 | 第17-21页 |
| ·周期性介质的耦合方程的推导 | 第17-20页 |
| ·声波作用下微扰项的求解 | 第20-21页 |
| ·模分离器原理 | 第21-24页 |
| ·设计工具介绍 | 第24-27页 |
| ·有效折射率法 | 第24-25页 |
| ·光束传播法(BPM) | 第25-27页 |
| ·快速傅立叶变换光束传播法 | 第26页 |
| ·有限元光束传播法 | 第26页 |
| ·有限差分光束传播法 | 第26-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 第3章 声光可调谐滤波器的设计 | 第28-59页 |
| ·声表面波又指换能器设计 | 第28-39页 |
| ·叉指换能器的工作原理 | 第28-29页 |
| ·叉指换能器的设计 | 第29-33页 |
| ·叉指换能器的射频驱动电路和匹配电路的设计 | 第33-39页 |
| ·射频驱动电路设计 | 第33-37页 |
| ·外围匹配电路的设计 | 第37-39页 |
| ·钛扩声波导及声吸收带 | 第39-45页 |
| ·钛扩散 | 第39-42页 |
| ·钛扩散理论 | 第39-41页 |
| ·热扩散法 | 第41-42页 |
| ·声波导设计 | 第42-45页 |
| ·声吸收带 | 第45页 |
| ·钛扩散铌酸锂光波导设计 | 第45-51页 |
| ·Ti:LiNbO_3光波导折射率 | 第46-49页 |
| ·LiNbO_3的折射率 | 第46页 |
| ·Ti:LiNbO_3光波导中的折射率分布 | 第46-49页 |
| ·光波导参数选择 | 第49-51页 |
| ·集成光学模分离器设计 | 第51-58页 |
| ·TE/TM模分离器的结构和工作原理 | 第52-53页 |
| ·TE/TM模分离器的设计 | 第53-58页 |
| ·本章小节 | 第58-59页 |
| 第4章 基于LiNbO_3的声光可调谐滤波器的制作及实验结果 | 第59-77页 |
| ·AOTF制作的工艺流程 | 第59-67页 |
| ·掩模版的设计制作 | 第59-61页 |
| ·基片准备 | 第61-62页 |
| ·镀膜 | 第62-63页 |
| ·光刻技术 | 第63-66页 |
| ·腐蚀 | 第66页 |
| ·去胶 | 第66页 |
| ·钛扩散 | 第66-67页 |
| ·AOTF的实验制备 | 第67-77页 |
| ·光刻实验数据分析 | 第67-72页 |
| ·光刻实验步骤 | 第67-68页 |
| ·匀胶实验 | 第68-70页 |
| ·曝光与显影 | 第70-71页 |
| ·光刻结果和分析 | 第71-72页 |
| ·声波导的工艺制作 | 第72-73页 |
| ·光波导与模分离器的工艺制作 | 第73-74页 |
| ·叉指换能器的工艺制作 | 第74-75页 |
| ·AOTF的制作结果 | 第75-77页 |
| 第5章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 附录1 三层套刻总装图 | 第82-83页 |
| 附录2 声波导掩模版 | 第83-84页 |
| 附录3 叉指换能器掩模版 | 第84-85页 |
| 附录4 光波导和模分离器掩模版 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第87页 |