水导激光切割机控制系统的设计与研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·本课题研究的目的及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外相关技术发展研究现状 | 第9-14页 |
| ·晶圆片切割技术的研究现状 | 第9-11页 |
| ·运动控制系统的研究现状 | 第11-12页 |
| ·基于计算机视觉的晶圆对准的研究现状 | 第12-14页 |
| ·本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 晶圆对准系统的设计与实现 | 第15-28页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·晶圆对准系统的硬件结构 | 第15-18页 |
| ·整体方案 | 第15-16页 |
| ·视觉系统硬件结构 | 第16-18页 |
| ·常用的圆检测算法 | 第18-20页 |
| ·重心法检测圆 | 第18页 |
| ·Hough变换法检测圆 | 第18-19页 |
| ·最小二乘法检测圆 | 第19-20页 |
| ·晶圆对准的图像处理算法 | 第20-27页 |
| ·图像增强 | 第20-21页 |
| ·边缘检测 | 第21-23页 |
| ·图像连通域分析 | 第23-24页 |
| ·概率Hough变换检测直线 | 第24页 |
| ·摄像机标定 | 第24-25页 |
| ·坐标变换 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 水导激光切割机的运动控制 | 第28-43页 |
| ·运动系统的设计要求及控制方案 | 第28-30页 |
| ·总体控制方案 | 第28页 |
| ·电机选型和控制方式 | 第28-30页 |
| ·基于PMAC控制卡的运动平台 | 第30-35页 |
| ·PMAC控制卡硬件资源概述 | 第30-31页 |
| ·运动平台硬件电路连接 | 第31-33页 |
| ·运动平台整体结构 | 第33-35页 |
| ·运动控制的软件设计 | 第35-40页 |
| ·PMAC控制卡的内部资源 | 第35-36页 |
| ·运动控制程序设计 | 第36-40页 |
| ·水导激光切割机人机界面 | 第40-42页 |
| ·界面程序开发环境及工具 | 第40页 |
| ·人机界面功能单元 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 PID控制及参数整定 | 第43-54页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·水导激光切割机动力学建模 | 第43-46页 |
| ·机械传动系统数学建模 | 第43-45页 |
| ·伺服驱动器和电机数学建模 | 第45-46页 |
| ·PID控制原理 | 第46-48页 |
| ·PMAC卡中的PID控制器及参数整定 | 第48-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
