钨铼合金丝防氧化涂层沉积及热震性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 钨铼热电偶防氧化技术概述 | 第11-14页 |
| 1.1.1 钨铼热电偶的工作原理 | 第11-12页 |
| 1.1.2 钨铼热电偶的特点 | 第12-13页 |
| 1.1.3 钨铼热电偶抗氧化技术及意义 | 第13-14页 |
| 1.2 钨铼热电偶防氧化技术的发展现状 | 第14-16页 |
| 1.2.1 钨铼热电偶抗氧化技术的国内现状 | 第15页 |
| 1.2.2 钨铼热电偶抗氧化技术的国外现状 | 第15-16页 |
| 1.3 本论文研究的目的及内容 | 第16-19页 |
| 第2章 实验设备及方法 | 第19-41页 |
| 2.1 电弧离子镀设备简介 | 第19-29页 |
| 2.1.1 电弧离子镀工作原理 | 第20-22页 |
| 2.1.2 电弧离子镀技术特点 | 第22-23页 |
| 2.1.3 电弧离子镀技术的应用 | 第23-24页 |
| 2.1.4 电弧离子镀设备简介 | 第24-29页 |
| 2.2 电子束蒸发设备 | 第29-30页 |
| 2.2.1 电子束蒸发设备简介 | 第29页 |
| 2.2.2 电子束蒸发技术原理 | 第29-30页 |
| 2.3 实验设备操作 | 第30-32页 |
| 2.3.1 抽本底 | 第30-31页 |
| 2.3.2 通入工作气体 | 第31页 |
| 2.3.3 镀膜 | 第31页 |
| 2.3.4 关闭机组 | 第31-32页 |
| 2.3.5 设备保压 | 第32页 |
| 2.3.6 设备操作注意事项 | 第32页 |
| 2.4 实验药品及材料 | 第32-33页 |
| 2.5 实验方法 | 第33-36页 |
| 2.5.1 基片预处理 | 第33-35页 |
| 2.5.2 实验过程 | 第35-36页 |
| 2.6 检测设备及原理 | 第36-39页 |
| 2.6.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第36-38页 |
| 2.6.2 光学显微镜 | 第38-39页 |
| 2.7 本章小结 | 第39-41页 |
| 第3章 ZrO_2抗氧化薄膜膜层机理设计 | 第41-49页 |
| 3.1 功能梯度薄膜 | 第41-42页 |
| 3.1.1 功能梯度薄膜的应用 | 第42页 |
| 3.2 ZrO_2抗氧化梯度膜层设计 | 第42-45页 |
| 3.2.1 锆 | 第42-43页 |
| 3.2.2 氮化锆 | 第43页 |
| 3.2.3 氧化锆 | 第43-44页 |
| 3.2.4 过渡膜层(ZrN) | 第44页 |
| 3.2.5 抗氧化梯度膜层(ZrO_2+Zr) | 第44-45页 |
| 3.3 ZrO_2抗氧化梯度膜层的沉积方法 | 第45-47页 |
| 3.3.1 电子束蒸发法制备ZrO_2薄膜 | 第46页 |
| 3.3.2 电弧离子镀法制备ZrO_2薄膜 | 第46-47页 |
| 3.4 可行性分析 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 防氧化涂层的工艺研究 | 第49-61页 |
| 4.1 实验工艺参数简介 | 第49-52页 |
| 4.1.1 本底真空度 | 第49页 |
| 4.1.2 气体分压 | 第49-50页 |
| 4.1.3 基体负偏压 | 第50页 |
| 4.1.4 预热温度 | 第50页 |
| 4.1.5 磁场 | 第50-51页 |
| 4.1.6 弧电流 | 第51页 |
| 4.1.7 沉积时间 | 第51页 |
| 4.1.8 基片的转动速率 | 第51-52页 |
| 4.2 工艺参数选取 | 第52-55页 |
| 4.2.1 预热温度选取 | 第52页 |
| 4.2.2 气体流量选取 | 第52-54页 |
| 4.2.3 基片负偏压选取 | 第54页 |
| 4.2.4 弧电流强度选取 | 第54-55页 |
| 4.3 抗氧化薄膜的制备 | 第55-59页 |
| 4.3.1 电弧离子镀法制备抗氧化膜的工艺过程 | 第55-57页 |
| 4.3.2 电子束蒸发法制备抗氧化膜的工艺过程 | 第57-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 抗氧化涂层的热震性研究 | 第61-75页 |
| 5.1 热震实验设备简介 | 第61-62页 |
| 5.1.1 真空炉 | 第61页 |
| 5.1.2 热电偶测温表 | 第61-62页 |
| 5.2 热震实验 | 第62-65页 |
| 5.2.1 不同温度下,不同膜层的热震实验 | 第63-65页 |
| 5.2.2 相同温度,不同气氛的热震实验 | 第65页 |
| 5.3 热电偶测温实验 | 第65-73页 |
| 5.3.1 热震实验前的温度测试 | 第67-68页 |
| 5.3.2 一次热震实验的温度测试 | 第68-70页 |
| 5.3.3 两次热震实验的温度测试 | 第70-71页 |
| 5.3.4 三次热震实验的温度测试 | 第71-73页 |
| 5.4 热电偶测温误差分析 | 第73-74页 |
| 5.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第6章 结论与展望 | 第75-77页 |
| 6.1 结论 | 第75-76页 |
| 6.2 展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
