玻璃基板光学检测仪器气浮工作台静特性研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-19页 |
| 1.1 课题来源、研究背景与意义 | 第16-17页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第16页 |
| 1.1.2 研究背景与意义 | 第16-17页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第17-18页 |
| 1.3 本文主要内容与章节安排 | 第18-19页 |
| 第二章 气浮工作台理论基础研究 | 第19-27页 |
| 2.1 气浮工作台概述 | 第19-21页 |
| 2.1.1 玻璃基板检测平台结构 | 第19页 |
| 2.1.2 气浮工作台基本原理 | 第19-20页 |
| 2.1.3 节流器类型 | 第20-21页 |
| 2.2 气体润滑理论 | 第21-25页 |
| 2.2.1 润滑气体流动特性 | 第21-22页 |
| 2.2.2 气体运动基本方程式 | 第22-24页 |
| 2.2.3 气体润滑的雷诺方程 | 第24-25页 |
| 2.3 气浮工作台主要静特性参数计算 | 第25页 |
| 2.4 数值求解方法 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 气浮工作台静特性数值仿真研究 | 第27-47页 |
| 3.1 CFD数值仿真 | 第27-32页 |
| 3.1.1 计算流体力学概述 | 第27页 |
| 3.1.2 几何计算模型建立 | 第27-29页 |
| 3.1.3 主流CFD网格划分软件 | 第29-30页 |
| 3.1.4 网格划分方案 | 第30-32页 |
| 3.2 FLUENT仿真计算 | 第32-36页 |
| 3.2.1 FLUENT仿真软件简介 | 第32页 |
| 3.2.2 求解计算及边界条件设置 | 第32-34页 |
| 3.2.3 常见湍流模型 | 第34-35页 |
| 3.2.4 计算收敛标准判断 | 第35-36页 |
| 3.3 检测区仿真结果分析 | 第36-46页 |
| 3.3.1 仿真结果 | 第36-38页 |
| 3.3.2 供气压力对静特性的影响 | 第38-42页 |
| 3.3.3 真空压力对静特性的影响 | 第42-46页 |
| 3.4 上下料传输区仿真结果分析 | 第46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 结构参数对气浮工作台静特性影响 | 第47-57页 |
| 4.1 节流孔间距 | 第47-50页 |
| 4.2 节流器弯折角度 | 第50-52页 |
| 4.3 不同节流器个数 | 第52-54页 |
| 4.4 节流孔排列方式 | 第54-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 实验分析 | 第57-76页 |
| 5.1 实验装置及实验方案 | 第57-58页 |
| 5.2 检测区气浮工作台系统重复性与稳定性实验 | 第58页 |
| 5.3 数值仿真与实验结果对比分析 | 第58-59页 |
| 5.4 响应曲面法实验设计 | 第59-68页 |
| 5.4.1 响应曲面法简介 | 第60-61页 |
| 5.4.2 气膜厚度测量响应曲面法实验安排 | 第61-63页 |
| 5.4.3 回归方程显著性检验 | 第63-65页 |
| 5.4.4 回归模型分析 | 第65-67页 |
| 5.4.5 回归模型验证 | 第67-68页 |
| 5.5 神经网络预测模型的建立 | 第68-75页 |
| 5.5.1 神经网络概述 | 第68-71页 |
| 5.5.2 BP神经网络 | 第71页 |
| 5.5.3 建立与分析BP神经网络模型 | 第71-75页 |
| 5.6 本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 总结与展望 | 第76-77页 |
| 6.1 全文总结 | 第76页 |
| 6.2 展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第80-81页 |
