| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 绪论 | 第16-22页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第16页 |
| 1.2 微纳米三坐标测量机研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 大行程微纳米定位控制系统研究现状与发展 | 第17-20页 |
| 1.4 嵌入式系统的网络化 | 第20页 |
| 1.5 课题研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 高精度位移传感器信号处理电路 | 第22-28页 |
| 2.1 偏振迈克尔逊激光干涉仪(PMI) | 第22-23页 |
| 2.2 线性衍射光栅干涉仪(LDGI) | 第23-24页 |
| 2.3 微型纳米位移传感器信号处理电路设计 | 第24-27页 |
| 2.3.1 微型纳米位移传感器信号处理电路设计 | 第24-25页 |
| 2.3.2 差分放大电路 | 第25-26页 |
| 2.3.3 正交处理电路 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 系统硬件设计 | 第28-44页 |
| 3.1 测控系统架构 | 第28-29页 |
| 3.2 以太网硬件接口模块设计 | 第29-35页 |
| 3.2.1 以太网接口概述 | 第29-30页 |
| 3.2.2 RTL8019AS简介 | 第30-32页 |
| 3.2.3 DSP与RTL8019AS接口电路 | 第32-34页 |
| 3.2.4 RTL8019AS与网络介质的接口电路 | 第34-35页 |
| 3.3 位移测量模块硬件基础 | 第35-38页 |
| 3.3.1 ADC模块设计 | 第35-36页 |
| 3.3.2 硬件大数计数模块设计 | 第36-38页 |
| 3.4 运动控制硬件基础 | 第38-41页 |
| 3.4.1 超声波电机HR4简介 | 第38-39页 |
| 3.4.2 HR4驱动器AB2简介 | 第39-40页 |
| 3.4.3 电平转换电路设计 | 第40-41页 |
| 3.5 其它外围电路设计 | 第41-43页 |
| 3.5.1 键盘接口电路 | 第41-42页 |
| 3.5.2 HR4电机工作状态指示 | 第42-43页 |
| 3.6 硬件抗干扰设计 | 第43页 |
| 3.7 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 系统软件设计 | 第44-61页 |
| 4.1 系统软件整体流程 | 第44-45页 |
| 4.2 以太网通信软件设计 | 第45-53页 |
| 4.2.1 精简TCP/IP协议简介 | 第45-47页 |
| 4.2.2 RTL8019AS驱动程序简介 | 第47-49页 |
| 4.2.3 数据包协议格式 | 第49-51页 |
| 4.2.4 以太网数据通信整体流程 | 第51-52页 |
| 4.2.5 三轴通信的实现 | 第52-53页 |
| 4.2.6 上位机软件 | 第53页 |
| 4.3 位移测量模块软件设计 | 第53-56页 |
| 4.4 机台运动控制软件设计 | 第56-60页 |
| 4.4.1 基于BP神经网络的PID控制算法简介 | 第56-57页 |
| 4.4.2 运动控制软件流程 | 第57-59页 |
| 4.4.3 软件调试方法及最优参数 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 系统测试 | 第61-66页 |
| 5.1 以太网通信测试 | 第61-62页 |
| 5.1.1 下位机接收数据测试 | 第61-62页 |
| 5.1.2 下位机发送数据测试 | 第62页 |
| 5.2 定位控制实验 | 第62-65页 |
| 5.2.1 X轴定位实验 | 第63-64页 |
| 5.2.2 Y轴定位实验 | 第64-65页 |
| 5.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 研究总结 | 第66-67页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录 | 第71-75页 |
| 附录1 单轴DSP运动控制板原理图1 | 第71-72页 |
| 附录2 单轴DSP运动控制板原理图2 | 第72-73页 |
| 附录3 单轴DSP控制板实物图 | 第73-74页 |
| 附录4 三轴运动控制系统连接实物图 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第75-76页 |
| 1)参加的学术交流与科研项目 | 第75页 |
| 2)发表的学术论文 | 第75页 |
| 3)获得的学术奖励 | 第75-76页 |