| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 1.绪论 | 第15-30页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第15-17页 |
| 1.2 研究现状 | 第17-28页 |
| 1.2.1 国内外微/纳米三坐标测量机探头研究动态 | 第17-21页 |
| 1.2.2 国内外微球型探针材质和尺寸研究动态 | 第21-22页 |
| 1.2.3 国内外微球型探针制造工艺研究动态 | 第22-28页 |
| 1.3 课题来源 | 第28页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第28-30页 |
| 2.实验原理及装置 | 第30-40页 |
| 2.1 微球型钨探针制作原理 | 第30-32页 |
| 2.1.1 电弧放电原理 | 第30页 |
| 2.1.2 电弧模型研究 | 第30-31页 |
| 2.1.3 电弧的温度特性 | 第31-32页 |
| 2.1.4 液体表面张力 | 第32页 |
| 2.2 微探针制作 | 第32-38页 |
| 2.2.1 实验设备 | 第32-35页 |
| 2.2.2 实验装置结构 | 第35-36页 |
| 2.2.3 实验过程 | 第36-37页 |
| 2.2.4 实验要点 | 第37-38页 |
| 2.3 电极材料的选择实验 | 第38-39页 |
| 2.4 本章总结 | 第39-40页 |
| 3.氩气环境中钨探针的制备研究 | 第40-46页 |
| 3.1 氩气实验环境的设计 | 第40-41页 |
| 3.1.1 氩气的性质 | 第40页 |
| 3.1.2 氩气环境的搭建流程 | 第40-41页 |
| 3.1.3 充气时间的设定 | 第41页 |
| 3.2 氩气环境实验 | 第41-42页 |
| 3.2.1 氩气和空气的对比实验 | 第41-42页 |
| 3.2.2 锥化处理实验 | 第42页 |
| 3.3 氩气环境中钨球制备方法 | 第42-45页 |
| 3.3.1 先在氩气中锥化,然后在空气中放电 | 第42-44页 |
| 3.3.2 一次性在氩气环境烧成小球 | 第44-45页 |
| 3.4 本章总结 | 第45-46页 |
| 4.空气中单变量影响实验 | 第46-55页 |
| 4.1 脉冲宽度和占空比的关系 | 第46页 |
| 4.2 各单变量对测球球型的影响 | 第46-54页 |
| 4.2.1 频率对测球球型的影响 | 第46-50页 |
| 4.2.2 电压对测球球型的影响 | 第50-51页 |
| 4.2.3 脉冲宽度对测球球型的影响 | 第51-52页 |
| 4.2.4 放电时间对测球球型的影响 | 第52-53页 |
| 4.2.5 电极距离对测球球型的影响 | 第53-54页 |
| 4.3 本章总结 | 第54-55页 |
| 5.空气中田口氏实验及结果分析 | 第55-66页 |
| 5.1 田口方法概述 | 第55-57页 |
| 5.1.1 田口法背景 | 第55页 |
| 5.1.2 实验设计中的几个概念 | 第55页 |
| 5.1.3 实验设计法 | 第55-57页 |
| 5.2 基于田口法加工钨探针实验流程 | 第57-63页 |
| 5.2.1 改进实验流程 | 第57-58页 |
| 5.2.2 信号/噪声比(S/N)分析 | 第58-61页 |
| 5.2.3 综合优化结果(方差分析) | 第61-62页 |
| 5.2.4 验证实验 | 第62-63页 |
| 5.3 微球型钨探针性能测试 | 第63-64页 |
| 5.4 常见结果分析 | 第64-65页 |
| 5.5 本章总结 | 第65-66页 |
| 6.总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 主要工作总结与成果 | 第66页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第72-73页 |
| 1 )参加的学术交流与科研项目 | 第72页 |
| 2 )发表的学术论文（含专利和软件著作权） | 第72页 |
| 3 )获得的学术奖励 | 第72-73页 |