| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究的背景与意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 微机电系统的发展 | 第9-10页 |
| 1.1.2 压力传感器的发展 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS压力传感器的发展趋势 | 第11-13页 |
| 1.3 MEMS压力传感器的特点 | 第13-14页 |
| 1.4 压阻式MEMS压力传感器的研究方法概述 | 第14-15页 |
| 1.4.1 有限元方法的基本思想 | 第14-15页 |
| 1.4.2 FreeFem++软件简介 | 第15页 |
| 1.5 相关领域国内外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.5.1 国外研究现状 | 第15-16页 |
| 1.5.2 国内研究现状 | 第16页 |
| 1.5.3 国内外研究简析 | 第16-17页 |
| 1.6 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 压力传感器的原理与有限元方法求解 | 第19-33页 |
| 2.1 引言 | 第19-20页 |
| 2.2 压阻式MEMS压力传感器的原理分析 | 第20-25页 |
| 2.2.1 压阻效应 | 第20-21页 |
| 2.2.2 惠斯顿电桥 | 第21-22页 |
| 2.2.3 压阻式压力传感器的原理 | 第22-25页 |
| 2.3 有限元方程的推导 | 第25-32页 |
| 2.3.1 压力传感器弹性场方程的推导 | 第25-28页 |
| 2.3.2 有限元方程中的无量纲化 | 第28-29页 |
| 2.3.3 压力传感器电场方程的推导 | 第29-30页 |
| 2.3.4 压力传感器温度场方程的推导 | 第30-31页 |
| 2.3.5 温度应力方程的推导及其无量纲化 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 压力传感器的输出规律 | 第33-46页 |
| 3.1 引言 | 第33-35页 |
| 3.2 弹性膜片在不同厚度时压力传感器的输出 | 第35-41页 |
| 3.3 掺杂电阻在不同宽度时压力传感器的输出 | 第41-43页 |
| 3.4 掺杂电阻与弹性膜片中心不同距离时压力传感器的输出 | 第43-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 考虑温度场时压力传感器的输出规律 | 第46-56页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 温度场影响下压阻式MEMS压力传感器的输出 | 第46-55页 |
| 4.2.1 温度场影响下不同弹性膜片厚度时压力传感器的输出 | 第47-51页 |
| 4.2.2 温度场影响下掺杂电阻不同宽度时压力传感器的输出 | 第51-53页 |
| 4.2.3 温度场影响下电阻与弹性膜片中心不同距离时传感器的输出 | 第53-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 考虑电场时压力传感器的输出规律 | 第56-71页 |
| 5.1 引言 | 第56-57页 |
| 5.2 考虑电场时压力传感器的温度场 | 第57-60页 |
| 5.3 考虑电场作用时压力传感器的输出 | 第60-66页 |
| 5.3.1 考虑电场时不同弹性膜片厚度时压力传感器的输出 | 第63-64页 |
| 5.3.2 考虑电场时不同掺杂电阻宽度时压力传感器的输出 | 第64-65页 |
| 5.3.3 考虑电场时电阻与膜片中心不同距离时压力传感器的输出 | 第65-66页 |
| 5.4 弹性场、温度场、电场同时作用时压力传感器的输出规律 | 第66-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
