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高精度合成式波前编码器件检测方法研究

中文摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-17页
    1.1 研究背景第10-11页
    1.2 波前编码器件特性第11-12页
    1.3 国内外现状第12-15页
    1.4 论文的结构安排和主要工作第15-17页
第二章 合成式相位器件特性分析与检测方案筛选第17-30页
    2.1 合成式波前编码器件简介第17-18页
    2.2 检测方案优化及分析第18-25页
        2.2.1 三坐标面形轮廓法第18-20页
        2.2.2 可编程相位调制波前校正法第20-22页
        2.2.3 补偿镜法第22-23页
        2.2.4 计算全息法第23-24页
        2.2.5 各方案对比第24-25页
    2.3 计算全息图概述第25-29页
        2.3.1 计算全息图的定义第25页
        2.3.2 二元衍射光学元件的相位表示方式第25-26页
        2.3.3 计算全息图的分类第26-27页
        2.3.4 计算全息图的几个重要参数第27-29页
    2.4 本章小结第29-30页
第三章 检测系统与关键器件设计第30-51页
    3.1 计算全息图的设计考虑第30-31页
        3.1.1 计算全息图的参数选择第30页
        3.1.2 CGH检测合成式波前编码器件的光路选择第30-31页
    3.2 合成式波前编码器件检测系统设计第31-38页
        3.2.1 检测系统设计流程第32页
        3.2.2 测试光路优化设计第32-35页
        3.2.3 测试全息载频量的选取第35-36页
        3.2.4 校准光路优化设计第36-37页
        3.2.5 计算全息的优化设计结果第37-38页
    3.3 二元全息图的绘制第38-42页
        3.3.1 二元光学元件基本原理第38-39页
        3.3.2 测试全息刻蚀条纹位置搜索第39-41页
        3.3.3 校准全息刻蚀条纹位置搜索第41-42页
        3.3.4 绘制实例计算全息图图样第42页
    3.4 计算全息图制作简介第42-44页
    3.5 系统测试性能评估分析与仿真第44-50页
    3.6 本章小结第50-51页
第四章 实验检测与精度分析第51-61页
    4.1 Zygo干涉仪和检测系统第51-53页
    4.2 合成式波前编码器件检测实验第53-60页
        4.2.1 实验平台的搭建第53-55页
        4.2.2 实验结果及分析第55-57页
        4.2.3 实验精度分析第57-60页
    4.3 本章小结第60-61页
第五章 波前编码成像系统综合成像效果仿真第61-65页
    5.1 波前编码成像系统综合成像效果系统设计与分析第61-64页
    5.2 本章小结第64-65页
第六章 总结与展望第65-67页
    6.1 主要工作总结第65-66页
    6.2 展望第66-67页
参考文献第67-71页
攻读硕士学位期间公开发表的论文第71页
参加学术会议与项目第71-72页
致谢第72-73页

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