| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 课题来源与意义 | 第12-14页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.1.2 研究背景与意义 | 第12-14页 |
| 1.2 超精密测量技术研究现状 | 第14-19页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.3 发展趋势 | 第18-19页 |
| 1.3 论文的研究思路和内容 | 第19-21页 |
| 第二章 单测头剪切扫描测量方法原理和系统 | 第21-31页 |
| 2.1 基于误差分离技术的单测头剪切扫描测量方法 | 第21-24页 |
| 2.1.1 多测头扫描测量方法 | 第21-22页 |
| 2.1.2 单测头剪切扫描测量方法 | 第22-23页 |
| 2.1.3 两测头逐次两点法原理 | 第23-24页 |
| 2.1.4 单测头逐次两点法原理 | 第24页 |
| 2.2 单测头逐次两点法测量系统构成 | 第24-30页 |
| 2.2.1 系统构成和工作原理 | 第24-25页 |
| 2.2.2 PI高精度直线运动平台 | 第25-26页 |
| 2.2.3 光谱共焦式传感器 | 第26-28页 |
| 2.2.4 剪切平台驱动元件 | 第28-29页 |
| 2.2.5 单片机与信号发生器 | 第29-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动的剪切平台研制 | 第31-43页 |
| 3.1 剪切平台设计方案 | 第31-32页 |
| 3.2 柔性铰链结构设计和有限元仿真 | 第32-38页 |
| 3.2.1 柔性铰链材料和加工方法 | 第32-33页 |
| 3.2.2 柔性铰链结构和参数设计 | 第33-36页 |
| 3.2.3 剪切平台刚度及模态有限元分析 | 第36-38页 |
| 3.3 剪切平台性能测试 | 第38-42页 |
| 3.3.1 刚度测试 | 第38-39页 |
| 3.3.2 定位精度与重复定位精度测试 | 第39-41页 |
| 3.3.3 运动垂直方向重复性测试 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 单测头剪切扫描逐次两点法误差分析 | 第43-58页 |
| 4.1 测头位姿对重构精度的影响 | 第43-47页 |
| 4.1.1 测头与待测轮廓空间位置关系 | 第43-44页 |
| 4.1.2 XOY面测头位姿对差分值测量的影响 | 第44-46页 |
| 4.1.3 XOZ面测头位姿对差分值测量的影响 | 第46-47页 |
| 4.2 测量系统各误差因素对重构精度的影响 | 第47-54页 |
| 4.2.1 剪切量误差影响 | 第47-50页 |
| 4.2.2 扫描平台定位误差影响 | 第50-52页 |
| 4.2.3 测量噪声影响 | 第52-53页 |
| 4.2.4 测值漂移影响 | 第53-54页 |
| 4.3 误差估计与不确定度分析 | 第54-57页 |
| 4.3.1 测量不确定度的定义和评定方法 | 第54-55页 |
| 4.3.2 基于蒙特卡罗的重构误差估计与不确定度分析 | 第55-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 光学表面轮廓测量实验 | 第58-68页 |
| 5.1 平面轮廓测量重构 | 第58-64页 |
| 5.1.1 实验准备 | 第58-61页 |
| 5.1.2 实验结果分析 | 第61-64页 |
| 5.2 曲面轮廓测量重构 | 第64-67页 |
| 5.2.1 实验准备 | 第64页 |
| 5.2.2 实验结果分析 | 第64-67页 |
| 5.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 本文总结 | 第68-69页 |
| 6.2 研究展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第74页 |