强光光学元件表面疵病在位检测系统设计与评价方法研究
| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 课题的来源与意义 | 第11-13页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第11页 |
| 1.1.2 课题研究的背景与意义 | 第11-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-17页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 光学元件表面疵病在位检测系统设计 | 第18-29页 |
| 2.1 在位检测系统总体结构设计 | 第18-19页 |
| 2.2 图像采集系统设计 | 第19-20页 |
| 2.3 照明系统设计 | 第20-24页 |
| 2.3.1 设计要求分析 | 第20页 |
| 2.3.2 镜筒布局设计 | 第20-21页 |
| 2.3.3 光源选型分析 | 第21-22页 |
| 2.3.4 照明仿真分析 | 第22-24页 |
| 2.4 光束优化设计 | 第24-27页 |
| 2.4.1 镜筒定心装配 | 第24-25页 |
| 2.4.2 单光束优化设计 | 第25页 |
| 2.4.3 多光束优化设计 | 第25-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 疵病检测系统性能影响因素分析 | 第29-38页 |
| 3.1 照明系统误差分析 | 第29-33页 |
| 3.1.1 镜筒加工误差对照明性能的影响分析 | 第29-30页 |
| 3.1.2 装调装置变形量对照明性能的影响分析 | 第30-33页 |
| 3.2 预紧螺栓强度安全性分析 | 第33-35页 |
| 3.2.1 上支撑板预紧螺栓安全性分析 | 第33-34页 |
| 3.2.2 下支撑板预紧螺栓安全性分析 | 第34-35页 |
| 3.3 检测区域光照性能分析 | 第35-36页 |
| 3.3.1 疵病散射强度分析与验证 | 第35-36页 |
| 3.3.2 CCD光照强度分析 | 第36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 疵病检测图像处理和识别 | 第38-46页 |
| 4.1 疵病图像预处理 | 第38-42页 |
| 4.1.1 疵病图像去不均匀光照处理 | 第38-40页 |
| 4.1.2 疵病图像对比度增强处理 | 第40-41页 |
| 4.1.3 疵病图像阈值分割设计 | 第41-42页 |
| 4.2 典型疵病特征识别与分析 | 第42-45页 |
| 4.2.1 疵病图像单位像素尺寸计算 | 第42-43页 |
| 4.2.2 疵病目标分类识别 | 第43-44页 |
| 4.2.3 疵病识别结果分析 | 第44-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 疵病检测实验分析 | 第46-60页 |
| 5.1 疵病在位检测系统工作条件分析 | 第46-47页 |
| 5.2 疵病定标实验分析 | 第47-51页 |
| 5.3 K9光学元件疵病检测与分析 | 第51-52页 |
| 5.4 大口径平面硅镜疵病检测与分析 | 第52-54页 |
| 5.5 球面透镜疵病检测与分析 | 第54-58页 |
| 5.5.1 相对口径对疵病检测的影响分析 | 第54-55页 |
| 5.5.2 景深对疵病检测的影响分析 | 第55-58页 |
| 5.6 本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 全文总结 | 第60-61页 |
| 6.2 研究展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第67页 |
