MEMS传感器三维引线键合系统研制
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 引线键合技术及工艺过程 | 第12-14页 |
| 1.2.1 引线键合技术 | 第12-13页 |
| 1.2.2 引线键合工艺过程 | 第13-14页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.1 国内研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.2 国外研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.3 目前存在的问题 | 第17页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 三维引线键合原理及工艺分析 | 第19-32页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 三维引线键合过程及运动学模型建立 | 第19-23页 |
| 2.2.1 三维引线键合过程 | 第19-21页 |
| 2.2.2 运动学模型建立 | 第21-23页 |
| 2.3 动力学模型建立 | 第23-31页 |
| 2.3.1 线弧受力分析 | 第23-25页 |
| 2.3.2 运动过程数学模型建立 | 第25-29页 |
| 2.3.3 三维线弧的仿真分析 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 三维引线键合系统方案设计 | 第32-46页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 三维引线键合设备硬件系统设计 | 第32-36页 |
| 3.2.1 三维引线键合总方案组成 | 第32-33页 |
| 3.2.2 焊线系统构成 | 第33-34页 |
| 3.2.3 封装体定位系统 | 第34-36页 |
| 3.3 关键结构设计 | 第36-41页 |
| 3.3.1 加热定位机构的优化设计 | 第36-38页 |
| 3.3.2 送丝机构支撑架动力学分析 | 第38-41页 |
| 3.4 三维引线键合控制系统 | 第41-45页 |
| 3.4.1 控制系统的组成 | 第41-43页 |
| 3.4.2 三维引线键合设备控制系统流程 | 第43-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 三维引线键合显微视觉系统的研究 | 第46-62页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 视觉系统的特点及其组成 | 第46-49页 |
| 4.2.1 视觉系统的特点 | 第46-47页 |
| 4.2.2 视觉系统的组成 | 第47-49页 |
| 4.3 摄像机标定 | 第49-55页 |
| 4.3.1 针孔成像模型 | 第49-52页 |
| 4.3.2 摄像机标定 | 第52-55页 |
| 4.4 视觉坐标系与运动坐标系的集成 | 第55-59页 |
| 4.4.1 视觉系统标定目的 | 第55-56页 |
| 4.4.2 视觉系统标定原理 | 第56-57页 |
| 4.4.3 视觉系统的标定方法 | 第57-58页 |
| 4.4.4 劈刀与相机中心工位标定 | 第58-59页 |
| 4.5 视觉系统与运动系统集成的实验研究 | 第59-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 实验研究 | 第62-75页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 实验准备 | 第62-63页 |
| 5.3 三维线弧成形实验及动力学模型校验 | 第63-67页 |
| 5.3.1 三维线弧成形实验 | 第63-64页 |
| 5.3.2 动力学模型的校验 | 第64-66页 |
| 5.3.3 实验时存在的问题 | 第66-67页 |
| 5.4 焊线参数工艺模型建立及分析 | 第67-74页 |
| 5.4.1 正交实验方案 | 第67-68页 |
| 5.4.2 支持向量机回归模型的建立 | 第68-71页 |
| 5.4.3 回归模型的校验及实验分析 | 第71-74页 |
| 5.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 6.1 总结 | 第75-76页 |
| 6.2 展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻读硕士学位期间科研成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
