| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.2 课题背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第12-19页 |
| 1.3.1 跨尺度纳米定位技术研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3.2 基于粘滑驱动原理微纳定位平台研究现状 | 第15-19页 |
| 1.4 研究现状分析 | 第19-20页 |
| 1.5 研究内容及目标 | 第20-22页 |
| 第二章 粘滑驱动定位平台结构设计 | 第22-36页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 致动器的选择 | 第22-24页 |
| 2.3 柔性传动机构的选择 | 第24-25页 |
| 2.4 单自由度定位平台结构设计 | 第25-28页 |
| 2.4.1 上部预紧式粘滑驱动定位平台设计 | 第26-27页 |
| 2.4.2 基于柔性铰链的可调预紧式粘滑驱动定位平台设计 | 第27-28页 |
| 2.5 柔性铰链的计算与分析 | 第28-35页 |
| 2.5.1 柔性铰链刚度的计算 | 第29-31页 |
| 2.5.2 柔性铰链的尺寸选择 | 第31-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 粘滑驱动定位平台动力学分析 | 第36-49页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 摩擦模型研究 | 第36-41页 |
| 3.2.1 静态摩擦模型 | 第36-38页 |
| 3.2.2 动摩擦模型 | 第38-41页 |
| 3.3 单自由度定位平台系统建模 | 第41-47页 |
| 3.3.1 压电陶瓷致动器模型 | 第41-43页 |
| 3.3.2 微动定位平台驱传动模型 | 第43-45页 |
| 3.3.3 粘滑驱动系统的动力学模型 | 第45-46页 |
| 3.3.4 基于粘滑驱动定位平台系统通用一体化模型 | 第46-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 粘滑驱动定位平台的仿真分析 | 第49-68页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 粘滑驱动定位平台的仿真分析 | 第49-52页 |
| 4.3 水平定位平台影响因素分析 | 第52-59页 |
| 4.3.1 负载影响 | 第52-53页 |
| 4.3.2 惯性质量块与柔性铰链总质量影响 | 第53-54页 |
| 4.3.3 驱动信号的影响 | 第54-59页 |
| 4.4 垂直定位平台影响因素分析 | 第59-66页 |
| 4.4.1 摩擦力的影响 | 第62-63页 |
| 4.4.2 滑块质量的影响 | 第63-64页 |
| 4.4.3 驱动信号影响 | 第64-66页 |
| 4.5 粘滑驱动定位平台系统参数优化 | 第66-67页 |
| 4.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 粘滑驱动定位平台的实验研究 | 第68-85页 |
| 5.1 引言 | 第68页 |
| 5.2 实验系统的搭建 | 第68-69页 |
| 5.3 驱动信号设计 | 第69-70页 |
| 5.4 单自由度定位平台性能初步测试 | 第70-83页 |
| 5.4.1 水平运动定位平台的性能测试 | 第70-78页 |
| 5.4.2 垂直运动定位平台的性能测试 | 第78-83页 |
| 5.5 三自由度定位平台搭建 | 第83-84页 |
| 5.6 本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-87页 |
| 6.1 总结 | 第85-86页 |
| 6.2 展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-92页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |