| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 真空元件流量特性的研究现状及分析 | 第10-15页 |
| 1.3 计算流体力学在流场分析方面的应用 | 第15-16页 |
| 1.4 蒙特卡罗(Monte Carlo)方法简介 | 第16-17页 |
| 1.5 课题主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 高真空阀流导的理论计算 | 第19-32页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 研究内容 | 第19-22页 |
| 2.2.1 研究对象 | 第19-20页 |
| 2.2.2 真空的分类 | 第20页 |
| 2.2.3 真空元件流量特性的描述 | 第20-21页 |
| 2.2.4 真空流态及其判别 | 第21-22页 |
| 2.2.5 不同直径高真空阀的真空流态划分 | 第22页 |
| 2.3 空气流时高真空阀流导的近似计算 | 第22-26页 |
| 2.3.1 将高真空阀等效成圆截面直管时计算流导 | 第23-25页 |
| 2.3.2 将高真空阀等效成直角弯管直接计算流导 | 第25-26页 |
| 2.4 分子流时高真空阀流导的近似计算 | 第26-31页 |
| 2.4.1 根据流量公式计算高真空阀的流导 | 第26-29页 |
| 2.4.2 根据传输几率计算高真空阀的流导 | 第29-30页 |
| 2.4.3 分子流流导计算方法及其结果分析 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 空气流时高真空阀流量特性的仿真计算 | 第32-50页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 建立研究模型 | 第32-37页 |
| 3.2.1 物理模型及网格划分 | 第33-35页 |
| 3.2.2 流动模型 | 第35-36页 |
| 3.2.3 边界条件和初始条件 | 第36-37页 |
| 3.3 流场分析 | 第37-44页 |
| 3.3.1 整体压力分布 | 第37-38页 |
| 3.3.2 阀内压力分布 | 第38-39页 |
| 3.3.3 阀内的流速分布 | 第39-40页 |
| 3.3.4 容器内压力、温度和密度的变化 | 第40-42页 |
| 3.3.5 阀内的压力变化 | 第42-43页 |
| 3.3.6 阀与泵联接平面的流量变化 | 第43-44页 |
| 3.4 高真空阀流导的计算及其分析 | 第44-49页 |
| 3.4.1 50mm直径阀的流导计算 | 第44-46页 |
| 3.4.2 其他直径高真空阀的流导计算 | 第46-48页 |
| 3.4.3 不同阀芯开度对流导计算结果的影响 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 分子流时高真空阀流量特性的仿真计算 | 第50-61页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 直角弯管的流导计算 | 第50-55页 |
| 4.2.1 蒙特卡罗方法计算过程 | 第50-53页 |
| 4.2.2 分子数目对计算结果的影响 | 第53页 |
| 4.2.3 直角弯管计算结果 | 第53-55页 |
| 4.3 高真空阀的流导计算 | 第55-60页 |
| 4.3.1 蒙特卡罗方法计算过程 | 第55-58页 |
| 4.3.2 高真空阀的流导计算结果及其分析 | 第58-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 全压强范围内高真空阀流量特性及其验证 | 第61-68页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 全压强范围内高真空阀流导的计算结果 | 第61-63页 |
| 5.3 计算结果的验证 | 第63-67页 |
| 5.3.1 空气流计算结果的验证 | 第63-66页 |
| 5.3.2 分子流计算结果的验证 | 第66-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |