| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 课题背景介绍 | 第11-20页 |
| 1.2.1 飞秒激光概述 | 第11-12页 |
| 1.2.2 飞秒激光加工优势 | 第12-13页 |
| 1.2.3 飞秒激光与物质相互作用机理 | 第13-15页 |
| 1.2.4 空间光整形技术与空间光调制器 | 第15-16页 |
| 1.2.5 艾里光束概述 | 第16-17页 |
| 1.2.6 艾里光束的主要特点 | 第17-18页 |
| 1.2.7 艾里光束的实现 | 第18-20页 |
| 1.3 飞秒激光弯曲结构微纳加工国内外研究现状 | 第20-22页 |
| 1.4 本论文研究的目的意义 | 第22页 |
| 1.5 本课题研究内容与思路 | 第22-24页 |
| 第2章飞秒激光微孔加工 | 第24-32页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 飞秒激光高斯光束微孔加工实验 | 第24-26页 |
| 2.2.1 加工系统介绍 | 第24-26页 |
| 2.2.2 加工材料介绍 | 第26页 |
| 2.3 参数设计与加工结果分析 | 第26-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章艾里光束光强分布仿真研究 | 第32-40页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 无限艾里光束仿真 | 第32-35页 |
| 3.3 有限能量艾里光束仿真 | 第35-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章艾里光束的实验实现 | 第40-56页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 基于SLM的艾里光束实现方案与SLM的调校实验 | 第40-48页 |
| 4.2.1 SLM空间光调制系统 | 第41-43页 |
| 4.2.2 自相干仪与光束质量仪 | 第43-44页 |
| 4.2.3 SLM调校实验光路系统 | 第44-46页 |
| 4.2.4 实验实施与数据处理 | 第46-48页 |
| 4.3 艾里光束的实验实现 | 第48-55页 |
| 4.3.1 基于SLM生成艾里光束的实验原理 | 第48-49页 |
| 4.3.2 艾里光束生成光路 | 第49-50页 |
| 4.3.3 艾里光束特性研究 | 第50-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章艾里光束弯曲结构加工 | 第56-64页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 飞秒激光艾里光束弯曲结构加工实验 | 第56-60页 |
| 5.2.1 加工光路设置 | 第56-57页 |
| 5.2.2 参数设计与加工结果分析 | 第57-60页 |
| 5.3 傅里叶透镜法在加工中的不足之处与新方法研究 | 第60-63页 |
| 5.3.1 自加速光束的产生与傅里叶透镜法的不足 | 第60-61页 |
| 5.3.2 直接艾里光束生成法原理与实现 | 第61-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69页 |