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掩膜作用下金属表面飞秒激光烧蚀及电化学生长研究

摘要第5-6页
abstract第6-7页
第1章 绪论第11-21页
    1.1 课题背景第11-13页
        1.1.1 飞秒激光的简介第11-12页
        1.1.2 电化学的简介第12-13页
    1.2 表面微纳复合结构研究的背景及意义第13-14页
    1.3 表面微纳复合结构的应用研究第14-15页
    1.4 表面微纳复合结构的制备方法第15-18页
        1.4.1 脉冲激光制备功能性微纳表面的研究进展第15-16页
        1.4.2 电化学制备功能性微纳表面的研究进展第16-18页
    1.5 本课题的研究内容第18-21页
        1.5.1 研究内容第18页
        1.5.2 论文简介第18-21页
第2章 飞秒激光加工金属材料和电化学生长的理论基础第21-35页
    2.1 飞秒激光烧蚀材料的物理过程第21-22页
    2.2 超快激光与材料相互作用多尺度模型第22-24页
    2.3 飞秒激光与材料相互作用机理第24-29页
        2.3.1 飞秒激光与金属材料相互作用机理第24-27页
        2.3.2 飞秒激光与电介质材料相互作用机理第27-29页
    2.4 电化学沉积法第29-33页
        2.4.1 电化学沉积微纳米材料第29-30页
        2.4.2 电化学沉积微纳米材料的方法和原理第30-32页
        2.4.3 直流电沉积的过程第32-33页
        2.4.4 影响电化学沉积的因素第33页
    2.5 本章小结第33-35页
第3章 飞秒激光加工与电化学生长实验装置第35-47页
    3.1 飞秒激光加工实验系统第35-39页
        3.1.1 飞秒激光系统第35-36页
        3.1.2 六自由度高精密移动平台第36-37页
        3.1.3 计算机控制系统第37-38页
        3.1.4 CCD成像系统及其他元件第38-39页
    3.2 电化学生长实验装置第39-43页
        3.2.1 赫尔槽第40-42页
        3.2.2 数字源表第42-43页
    3.3 表征手段第43-45页
        3.3.1 扫描电子显微镜(SEM)第43-44页
        3.3.2 X射线能谱仪(EDAX)第44-45页
        3.3.3 原子力显微镜(AFM)第45页
    3.4 本章小结第45-47页
第4章 飞秒激光诱导金属铜表面烧蚀弹坑的研究第47-59页
    4.1 引言第47-48页
    4.2 飞秒激光加工金属铜的烧蚀特性第48-57页
        4.2.1 烧蚀阈值的确定第48-49页
        4.2.2 脉冲个数对烧蚀形貌的影响第49-50页
        4.2.3 能量密度对烧蚀形貌的影响第50-52页
        4.2.4 激光偏振对烧蚀形貌的影响第52-53页
        4.2.5 脉冲个数对烧蚀尺寸的影响第53-54页
        4.2.6 能量密度对烧蚀尺寸的影响第54-56页
        4.2.7 掩膜对烧蚀尺寸的影响第56-57页
    4.3 本章小结第57-59页
第5章 表面微纳复合结构的构筑第59-75页
    5.1 引言第59页
    5.2 设计思路第59-60页
    5.3 实验过程第60-67页
        5.3.1 铜基表面镀膜第60页
        5.3.2 飞秒激光烧蚀镀膜第60-64页
        5.3.3 电化学沉积-微米结构第64-66页
        5.3.4 还原金属银-纳米结构第66页
        5.3.5 表面硅烷化修饰第66-67页
    5.4 表面微米结构形貌调控第67-71页
        5.4.1 飞秒激光参数对表面形貌的影响第67-69页
        5.4.2 电化学生长参数对表面形貌的影响第69-71页
    5.5 表面纳米结构形貌调控第71-73页
    5.6 表面接触角测试第73-74页
    5.7 本章小结第74-75页
总结与展望第75-77页
参考文献第77-84页
攻读学位期间发表的论文与研究成果清单第84-85页
致谢第85页

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